판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
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(2) Developer system R-Type No chemical unit Spin motor Driver.
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(2) Developer systems L-Type Spin motor Driver No chemical unit.
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(1) Coater / (2) Developer system. EMO Function DEV Spin chuck Coat spin chuck IND Unit ARM Carrier
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Coater / Developer system, 6" Non-SMIF Supply tank Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz 1990 vintage.
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System, 6" Left to Right INDEXER 4 Cassette Stage (Uni-Cassette) CONFIGURATION Main Body1 / Ma
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