판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821345

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 photolithography에서 정확한 패턴을 만들 수있는 photoresist 장비입니다. 광전도 (Photolithography) 는 반도체, 광학 박막 (Optical Thin Film) 및 기타 장치로 사용하기 위해 재료의 박막을 패턴화하는 데 사용되는 많은 산업에서 중요한 도구입니다. TEL Mark V (TEL Mark V) 는 최고 품질의 패턴화를 보장하기 위해 다양한 기능을 갖춘 고급 시스템입니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 깊은 자외선 (DUV) 조명원을 사용하여 필름을 노출시켜 원하는 패턴을 만듭니다. 이 광원 의 파장 은 248 "나노미터 '이며" 포토마스크' 를 통해 보내지는데, 이것 은 일부 광원 을 막고 다른 광원 이 아래 의 "웨이퍼 '를 통과 할 수 있게 해 준다. 그 "마스크 '는" 웨이퍼' 에 "패턴 '을 만드는 불투명 한 영역 즉 창문 의 패턴 으로 구성 되어 있으며, 그 다음 에는 광자" 코우팅' 을 한다. "마스크 '를 통과 하는 빛 을 단단 히 제어 하면 0.45" 마이크로미터' 의 해상도 를 가진 "패턴 '이 된다. 포토 마스크 자체는 진공 척을 통해 장치에 고정됩니다. 이렇게 하면 장치를 처리하고 불러올 때 Photomask 표면을 건드리지 않고 마스크를 고정할 수 있습니다 (예: '마스크'). 그런 다음 마스크는 물리적 (physical) 및 광 (optical) 정렬 모두를 사용하여 x 축과 y 축을 따라 고정밀 정렬됩니다. 이렇게 하면 마스크가 노출 전에, 그리고 각 후속 노출에 대해 올바르게 정렬됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V에는 자동 초점 제어도 있습니다. 광학 "센서 '는 장치 에서 하류 표면 까지의 거리 를 측정 하고" 포토레지스트' "필름 '에서 하류 표면 까지의 거리 를 각각 측정 한다. 그런 다음 [초점] 컨트롤은 photomask 및 기판의 높이를 모두 조정하여 최고 품질의 패턴화를 확인합니다. 마지막으로, 마크 V (Mark V) 는 혁신적인 기판 냉각기를 가지고 있으며, 웨이퍼는 시간이 지남에 따라 포토 esist 필름의 변화를 방지하기 위해 짝수 온도에서 실행됩니다. 이는 가장 까다로운 어플리케이션에서도 최고 품질의 패턴화를 보장합니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 TEL MARK-V는 시장에서 가장 발전된 포토 esist 시스템 중 하나입니다. 고급 조명 소스, 고정밀 정렬, 자동 초점 제어, 기판 냉각 도구는 사용 가능한 최고 해상도의 패턴을 제공합니다. 이 자산은 최고의 정확성, 일관된 결과, 신뢰성이 필요한 모든 애플리케이션에 적합합니다.