판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620469

ID: 293620469
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 2010
Coater / Developer system, 5" Non-SMIF Control rack 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 가장 민감하고 도전적인 photoresist 코팅 기판 개발에 사용하도록 설계된 photoresist 코팅 장비입니다. 다양한 포토 esist로 기판을 코팅 할 수있는 고성능, 고정밀 시스템입니다. TEL Mark V (TEL Mark V) 는 기판에 포토 esist를 적용 할 때 최대 정확도와 효율성을 달성 할 수있는 여러 가지 기능을 갖추고 있습니다. 도쿄 전자 MARK-V (TOKYO ELECTRON MARK-V) 는 기판에 적용되는 포토 esist 층의 정확하고 일관된 두께, 너비 및 커버리지를 제공하는 정밀 코팅 메커니즘을 특징으로합니다. 또한 "코우팅 '을 면밀 히 감시 하여" 코우팅' 질 의 모든 변화 를 신속 히 확인 하고 정류 시킨다. 이를 통해 포토 esist가 짝수 코팅으로 올바르게 적용됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V에는 코팅 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 제어 장치가 있습니다. 여기에는 코팅 과정의 속도, 압력 및 각도에 대한 정확한 제어가 포함됩니다. "컨트롤 머신 '은 또한" 코우팅' 과정 이 순조 롭게 진행 되도록 도와 주며, 광저항 층 이 적절 히 적용 되도록 한다. TEL MARK-V의 또 다른 특징은 기판에 적용되는 포토 esist 코팅의 두께와 균일성을 정확하게 측정 할 수있는 능력입니다. 이 도구는 정확한 자동 스펙트럼 및 두께 (automated spectral and thickness) 측정을 사용하여 photoresist 레이어가 올바르게 적용되도록 도와줍니다. 이것은 코팅 초과 또는 코팅으로 인한 결함을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한 MARK-V 는 높은 수준의 정확성과 효율성을 실현하는 데 도움이 되는 다양한 추가 기능을 제공합니다. 여기에는 고속 코팅 에셋, 다양한 포토레지스트 (photoresist) 기능 및 특정 사용자 요구 사항을 충족하도록 맞춤 조정할 수있는 다양한 옵션 액세서리가 포함됩니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON Mark V는 기질에 대한 광 소시스트의 정확하고 일관된 코팅을 제공하기 위해 설계된 고도로 발전된 포토 esist 모델입니다. 고밀도 코팅 메커니즘, 정교한 제어 장비, 정확한 측정 기능을 통해 포토레시스트 레이어가 올바르게 적용되도록 합니다. 마크 V (Mark V) 가 제공하는 다양한 기능과 선택적 액세서리를 통해 포토레스 코팅 기판의 고품질 코팅을 원하는 사람들에게 이상적인 선택이 가능합니다.
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