판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149605

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V photoresist 장비는 최신 광학 디자인, 마이크로 패브릭션 및 반도체 처리 기술로 설계된 차세대 포토 리토 그래피 시스템입니다. TEL Mark V는 마이크로 컴포넌트 (microcomponent) 에 대한 탁월한 정확성과 반복성으로 패턴을 재현할 수 있으며, 이는 반도체 칩 및 마이크로 칩 제조에 적합한 것입니다. TEL Ltd.에서 개발 한 TOKYO ELECTRON MARK-V는 반도체 웨이퍼에 포토 esist를 적용하는 데 사용되는 전용 장치입니다. 광전자 (photoresist) 는 복사 에너지에 노출되어 선택적으로 제거 될 수있는 물질을 말하며, 반도체 제조에 사용되는 필수 물질이다. TEL MARK-V 머신은이 특수 재료를 사용하여 놀라운 정확성과 반복성으로 회로 패턴을 만듭니다. 도쿄 전자 마크 V (TOKYO ELECTRON Mark V) 도구는 다양한 포토 esist 재료로 매우 작은 스케일에 복잡한 패턴을 재현할 수 있으며, 더 큰 웨이퍼를 효과적으로 코팅 할 수 있습니다. MARK-V의 기능에는 고정밀 단계, 프로그래밍 가능한 번역 테이블 및 고급 광학 자산이 포함됩니다. 회전 목마 스타일 스테이지는 직경이 최대 4 인치 인 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 4 개의 스테퍼 모터 구동 테이블 (stepper motor-driven table) 은 여러 레시피로 프로그래밍되고 컴포넌트와 재료를 정확하게 배치하는 데 사용되는 자동 반복 가능한 이동으로 프로그래밍 될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 안정성이 높은 레이저를 갖춘 새로 개발 된 빔 모델을 사용합니다. "레이저 빔 '은 고양이 눈 렌즈 배열과 광섬유를 통해 가공물에 효율적으로 전달된다. 생산에 소요되는 시간을 줄이기 위해 마크 V (Mark V) 는 여러 개의 동일한 레시피를 동시에 실행할 수 있으며, 처리량이 높고 프로세스 시간이 단축됩니다. 청소 작업은 TEL/TOKYO ELECTRON Mark V의 온보드 고급 EPC (Electrostatic Legipitation Cleaner) 및 표준 화학 내성 노즐이있는 진공 척 장비를 통해 수행됩니다. 텔 마크 V (TEL Mark V) 는 뛰어난 성능과 매우 정밀한 마이크로 컴포넌트를위한 고급 포토레스 시스템입니다. 이 차세대 장치는 강력한 기능, 높은 처리량, 고급 옵티컬 디자인 (Optical Design) 을 통해 반도체 칩, 마이크로칩 부품에서 최고의 정확성과 반복성을 보장할 수 있도록 설계되었습니다.