판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759024

텔/도쿄 일렉트로닉 마크 V (TEL/TOKYO ELECTRON Mark V) 는 photolithography 프로세스 동안 웨이퍼에 패턴을 생성하기 위해 반도체 생산 작업에 사용되는 포토 esist 장비입니다. TEL Mark V photoresist 시스템은 TEL에서 사용할 수있는 제품군의 일부이며, 마스크 없는 석판화 및 개발 작업에 주로 사용됩니다. 도쿄 전자 MARK-V 장치 (TOKYO ELECTRON MARK-V unit) 는 와퍼에 매우 정밀한 패턴을 만들기 위해 포토 esist를 빠르고 정확하게 노출하도록 설계된 다양한 구성 요소와 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 고해상도, 고정밀 광학 이미징 도구, 이미징 중 웨이퍼를 고정하기위한 진공 단계, 소형, 사용하기 쉬운 컨트롤러 장치 등이 있습니다. 마크 V (Mark V) 의 광학 이미징 섹션은 매우 안정적이고, 낮은 소음 성능을 위해 설계되었으며, 저항에 패턴을 일관되고 정확하게 투영 할 수 있습니다. 프로젝션 광학은 30nm의 해상도를 달성 할 수있는 고급 레이저 스캔 자산을 사용합니다. 웨이퍼 진공 단계 (wafer vacuum stage) 를 사용하면 이미징 중에 웨이퍼를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 즉, 패턴이 제대로 정렬되고 완벽하게 중앙에 배치되도록 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V 모델의 컨트롤러 (controller) 장치는 사용자 친화적으로 설계되어, 최소한의 노력으로 노출 매개변수 및 기타 작동 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 이 컨트롤러에는 노출 시뮬레이션, 패턴 편집 (pattern editing), 정렬 조정 (alignment calibration) 등 보다 포괄적인 제어가 가능한 여러 기능이 포함되어 있습니다. 따라서 이미징 프로세스를 세밀하게 조정하고 완벽한 정확성을 보장할 수 있습니다. 마크-V (MARK-V) 포토리스 스틱 (photoresist) 장비는 반도체 제조업체를위한 신뢰할 수 있고 다재다능한 도구이며, 특히 사진 해설에 가장 높은 정확도를 요구하는 사람들을 위해 사용됩니다. 고정밀 (HP) 광학 이미징 기능과 고급 제어 기능을 갖춘 이 시스템은 고품질의 고해상도 패턴을 빠르고 일관되게 만들 수 있습니다.