판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 높은 생산성과 탁월한 프로세스 제어를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 기능을 제공하며, 빠르고, 효율적이며, 정확합니다. 이 시스템은 스펙트럼 선택적 이미징 (spectral-selective imaging) 기술을 사용하여 단일 노출에서 패턴 요소의 밀도가 높은 고해상도 이미지를 제공합니다. 이 장치는 저항 노출 기계, 저항 처리 도구, 웨이퍼 전송 에셋 및 웨이퍼 스테이지 섹션으로 구성됩니다. 저항 노출 모델에는 이동식 디지털 이미징 플레이트, 다중 채널 노출 소스, 셔터 장비, 정교한 제어 시스템이 포함됩니다. 저항 처리 장치는 고해상도 개발 및 고급 자외선 이미징 기능을 제공합니다. 웨이퍼 전송 머신 (wafer transfer machine) 을 사용하면 한 스테이션에서 다음 스테이션으로 웨이퍼를 신속하게 전송할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 섹션에는 프로세싱 사이클 전반에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 배치를 보장하기 위해 정밀 스테이지가 장착되어 있습니다. TEL Mark V 는 뛰어난 이미지 해상도, 노출 소스 유연성, 다양한 웨이퍼 유형을 갖춘 고급 정렬 기능 등을 제공합니다. 이 도구는 수동 수동 정렬을 제거하고 노출 마스크에 대한 정확한 등록을 보장하는 자동 웨이퍼 (automated wafer) 정렬을 제공합니다. 이 노출 자산에는 레이저, 광학 소스를 포함한 다양한 노출 소스가 있습니다. 또한, 이 모델에는 다양한 반도체 집적 회로를 효율적으로 제조 할 수있는 고급 제어 (advanced controlling) 기능이 있습니다. 고정밀도 (high-precision) 기능 외에도, 이 장비는 정교한 결함 감지 (fault sensing) 기능을 갖추고 있어 처리 성능에 영향을 줄 수 있는 장애 또는 불규칙성을 감지하고 진단할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 는 또한 품질 관리 및 분석을 위해 온도, 압력 및 기타 데이터를 모니터링, 저장하는 데이터 로깅 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 패턴 생성기 (pattern generator), 처리 시스템 (handling system) 과 같은 다양한 주변 장비와 상호 작용할 수도 있습니다. 전반적으로, Mark V는 복잡한 반도체 및 포토 esist 제품의 생산에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. 이 기계는 고급 이미징 (Imaging) 및 제어 (Control) 기능을 활용하여 탁월한 프로세스 제어를 가능하게 하며 높은 생산 효율로 우수한 결과를 산출합니다. 이 도구는 포토레시스트 (photoresist) 프로세스의 모든 부분을 정확하고 효율적으로 처리하도록 설계되었으며, 칩 제조 및 설계와 관련된 시간과 비용을 크게 줄였습니다.