판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293656063

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 장치 제조에서 긍정적 인 리소그래피 응용을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. TEL (Ltd.) 이 개발 한 TEL Mark V는 웨이퍼 제작을위한 포괄적인 솔루션 제품군의 일부이며, 정교한 자동화 및 제어가 필요한 기업에 적합합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 시스템은 고속 레이저 빔 스캐너 (Laser Beam Scanner) 를 갖추고 있으며, 추가 초점 렌즈 없이도 기판 유형에서 최대 30m까지 실행할 수 있습니다. 전장 광도 변조 (full-field light intensity modulation) 에 통합된 정밀한 광도 제어 (light intensity control) 를 제공하여 일관성이 높은 치수와 모양으로 매우 미세한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, Mark V는 photoresist, fluoropolymer 및 photoresist-dies를 포함한 다양한 유형의 리소그래피 물질에 대한 광범위한 노출에 적합합니다. 마크-V (MARK-V) 는 고급 처리량 최적화를 통해 처리량을 극대화하여 각 노출 시퀀스에 대한 일관된 노출 시간을 보장하도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 알고리즘 (Advanced process control algorithms) 과 백엔드 분석 도구 (back-end analysis tools) 를 사용하면 운영 수율을 유지하기 위해 문제를 신속하게 감지하고 대응할 수 있습니다. 또한, 장치 (unit) 연산자는 예측 추세 표시 (predictive trending display) 를 사용하여 노출 프로세스 중에도 실시간으로 이상을 발견할 수 있습니다. 이 기계는 전문가 등급의 프로세서 보드 (프로세서 보드) 로 구동되며, 이는 매우 정밀하고 정확합니다. 이렇게 하면 공구의 모든 컴포넌트가 제대로 조정되고, 효율적으로 작동하도록 할 수 있습니다. 또한, 프로세서 보드는 여러 노출 시퀀스를 동시에 처리할 수 있도록 설계되어, 전반적인 비용을 최소화하면서 생산성을 최대화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V 자산에는 하드웨어 구성 요소 외에도 다양한 소프트웨어 패키지가 제공되어 모델의 작동을 더욱 단순화합니다 (영문). 사용자 친화적 인 소프트웨어 제품군에는 고급 이미지 획득 (Advanced Image Acquisition) 및 패턴 등록 도구 (Pattern Registration Tools) 가 포함되어 있으며, 사용자가 자신의 패턴을 디자인하거나 미리 정의된 소프트웨어를 사용하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. TEL MARK-V (TEL MARK-V) 는 TEL MARK-V 를 통해 애플리케이션에 적합한 리소그래피 패턴을 빠르고 정확하게 생성할 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 하드웨어, 처리 능력, 정교한 소프트웨어를 통해, 모든 운영 프로세스에서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.