판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9130725
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ID: 9130725
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
System, 6"
Left to Right
INDEXER 4 Cassette Stage (Uni-Cassette)
CONFIGURATION Main Body1 / Main Body2 / Chemical Cabinet
MAIN CONTROLLER NEC FC-9801X
C/S ROBOT TYPE Vacuum Arm / Ceramic Pincette
MAIN ROBOT TYPE 2 Pincette Arm
INDEXER Laser Diode Mapping Sensor
SCR JET Nozzle / Rinse Nozzle
COAT 4 Resist Nozzle / Bellows Pump
1 Gallon Resist Bottle / Thinner Local Supply (Canister)
EBR Nozzle / Back Rinse Nozzle
Local Drain (1ST SUS 10L Tank / Drain Pump)
DEV Nozzle Tyoe : Spray Nozzle
Rinse Nozzle / Back Rinse Nozzle
Facility Supply / Drain
WEE TEL Standard
CTV-410
AD TEL Standard
Local Supply (Canister)
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 산업에서 사용하기 위해 TEL (TOKYO ELECTRON Limited) 이 만든 고도의 포토 esist 장비입니다. photoresist 시스템은 독점 기술을 통합하고 TEL Mark V 장치를 구성하는 여러 핵심 구성 요소로 구성됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 기계의 핵심 구성 요소는 포토 esist 유닛 또는 PRU입니다. 이 도구는 정교한 광학 패턴을 활용하여 반도체 기판에 포토레지스트 (photoresist) 재료를 정확하게 적용하는 최첨단, 고정밀 도구입니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 피치, 크기, 모양을 정확하게 조정하고 다양한 정교한 코팅을 적용할 수 있는 특허 기술을 사용합니다. 이 장치는 또한 균일 하고 안정 된 코팅 (coating) 을 유지하기 위해 다양한 온도, 압력 및 환경 조건에서 작동 할 수 있습니다. 이 기능을 통해 모든 유형의 포토 esist 재료에 대한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. MARK-V 에셋에는 마스크 및 웨이퍼 전송을위한 정밀 고속 로봇, 기판 취급을위한 고속 필름 피더, 개별 조각으로 기판 정렬 및 절단 용 포스트 스플릿 (post-split) 모델 등 여러 가지 다른 구성 요소가 있습니다. 이 장비에는 바코드와 패턴 마크를 정확하게 읽는 레이저 스캐너 (Laser scanner) 와 필름 등록 (Film Registration) 및 마스킹 (Masking) 의 정확성을 보장하는 데 사용되는 광학 검사 시스템 (Optical Inspection System) 도 포함되어 있습니다. 이러한 구성 요소를 통해 Mark V 장치는 반도체 제품의 전문적인 생산에 필요한 높은 정확성, 반복성, 정밀도를 제공할 수 있습니다. 또한, 기계는 다양한 기판 크기의 오염 및 균일 한 코팅 품질 (coating quality) 을 최소화하여 개선 된 수율을 허용합니다. TEL/TOKYO ELECTRON photoresist tool은 생산 과정에서 발생하는 유해 화학 폐기물의 양을 줄임으로써 더 나은 환경 성능을 제공 할 수도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V 자산은 또한 고효율 광학 모델 덕분에 전력 소비를 줄여 에너지 효율을 향상시킵니다. 또한, 이 장비는 기판 처리량 향상, 거부 최소화, 결함 관련 피해 비용 절감 등을 통해 반도체 생산의 총비용 (TCO) 을 절감할 수 있습니다. 도쿄 일렉트로니스트 (TOKYO ELECTRON Mark V) 포토레지스트 시스템은 오늘날 가장 발전된 포토레시스트 시스템 중 하나로, 고품질, 일관된 포토레시스트 결과를 만들어내려는 반도체 전문가들에게 이상적인 솔루션입니다. 정교한, 정밀 구성 요소 (precision component), 효율적인 솔루션을 결합하면 반도체 생산을 최적화하려는 사람들에게 탁월한 투자 효과를 얻을 수 있습니다.
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