판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149604

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 전자 제품 제작의 리소그래피에 사용되는 전문 포토 esist 처리 장비입니다. 이 시스템은 크기가 0.35mm (0.35mm) 까지 작은 부품의 훌륭한 패턴을 만들 수 있습니다. TEL Mark V는 빛을 사용하여 기판에 포토 마스크 (photomask) 를 노출시켜 미세 패턴 생성을 허용하는 광 정렬 장치입니다. 거울 은 뒤 쪽 에서 노출 되며, 조절 가능 한 "슬릿 '은 훌륭 한 초점 을 제공 한다. 고정밀도 투영 렌즈는 photomask 이미지를 기판에 투영하여 패턴을 생성합니다. 또한, 고급 CCD 카메라는 노출 편차의 미세 정렬 및 교정에 사용됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 포토레지스트 머신 (photoresist machine) 은 모듈형으로 설계되어 부품의 사용자 정의 어셈블리가 특정 요구 사항을 충족하도록 합니다. 이러한 유연성을 통해 해상도, 초점, 노출 수준 등 다양한 노출 매개변수를 설정할 수 있습니다. 리소그래피의 정확성을 보장하는 많은 기능이 있습니다. 고정밀도 투사 렌즈와 결합된 자동 정렬 기능 (auto-alignment function) 은 해상도와 노출 정확도를 향상시킵니다. 또한 대형 기판을 빠르게 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 유연한 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 각 모듈에 대한 독립적인 제어 및 장애 모니터링을 수행할 수 있습니다. 또한, 내부 메모리의 존재는 긴 노출 (exposure) 을 가능하게하여 더 두꺼운 저항층에 대해 충분한 프로세스 시간을 허용합니다. TOKYO ELECTRON Mark V는 서브 미크론 패턴을위한 신뢰할 수 있고 정확한 포토 esist 도구입니다. 고급 석판화 및 제작 프로세스에 적합한 뛰어난 해상도, 정확도, 유연성 및 성능을 제공합니다. 이 비용 효율적인 photoresist 자산은 현대 반도체 생산 및 고급 연구 응용 분야에 이상적입니다.