판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620464

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 및 인쇄 회로 기판 용 마이크로 전자회로 제작에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 금속, 유리, 석영과 같은 기판에 이미지를 빠르고 정확하게 개발하도록 설계되었습니다. 레이저 구동 투과 노출 기술을 사용하여 1 미크론 미만의 기능 크기로 집적 회로를 생성 할 수 있습니다. TEL Mark V는 높은 종횡비 기능을 생성 할 수있는 전자 빔 증발 프로세스를 사용합니다. 이것 은 집중 "레이저 다이오드 '를 사용 하여 기판 의 광저항 층 에" 패턴' 을 직접 기록 함 으로써 달성 된다. 노출 장치는 노출 베드 (Exposure Bed), 광학 컴포넌트 (Optical Component) 및 광선 노출의 강도, 위치, 지속 시간을 정확하게 조정하도록 설계된 컨트롤러로 구성됩니다. 기판은 회전하는 노출 베드 (bed) 에 장착되어 보다 효율적인 이미지 프로그래밍이 가능합니다. 이 기계에는 최첨단 연마 및 에칭 도구가 장착되어 있습니다. 이 장비를 통해 사용자는 기판에서 매우 균일 한 패턴을 달성 할 수 있으며, 로트 (lot) 에서 로트 (lot) 까지 일관된 표면 마무리를 유지할 수 있습니다. 이 공구는 균일한 결정 구조와 단단한 치수 공차 (tight dimensional tolerance) 로 높은 정밀 결과를 생성 할 수 있습니다. 이는 노출되는 동안 광선 (light beam) 의 초점을 자동으로 조정하는 고급 자동 초점 (auto-focus) 기능을 사용하기 때문입니다. 이 장치에는 또한 고급 온도 조절 알고리즘 (Advanced Temperature Control Algorithms) 이 포함되어 있어 저항층 온도를 정확하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 최적의 해상도를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 고급 소프트웨어와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자 경험을 향상시킵니다. 이를 통해 사용자는 노출 자산 내에서 제어 및 생산성을 높일 수 있습니다. 이 모델은 광범위한 기판 크기와 두께, 초고화질 (Ultra-High) 종횡비 기능을 지원하도록 설계되었습니다. 또한 고급 네트워킹 및 원격 모니터링 (Remote Monitor) 기능을 제공하여 여러 사이트 및 시간대에서 공동 작업을 수행할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 신뢰성이 높으며 제품 다운타임을 최소화하도록 설계되었습니다. 이는 외부 조건이나 장비 오류로 인한 장애 복구 (R) 기능 때문입니다. 시스템에 안전 모니터링 (Safety Monitoring) 장치가 내장되어 있어 고장 발생 시 시스템을 자동으로 종료합니다.