판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384737

'TEL/TOKYO ELECTRON Mark V' 포토 esist 장비는 주로 마이크로 일렉트로닉 제작에 사용되는 고급 사진 석판 시스템입니다. 이 장치는 증착 및 에칭 (etching) 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼에 패턴을 생성하도록 설계되었습니다. TEL Mark V 머신에는 마이크로 일렉트로닉스 부품의 처리 성능을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이 도구는 SPU (Substrate Processing Unit), REC (Resolution and Exposure Component) 및 PCS (Primary Control Asset) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. SPU는 포토리스트 (photoresist), 포토 마스크 (photomask) 및 기타 박막 재료를 포함한 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 이 컴포넌트는 온도 (temperature), 압력 (pressure), 습도 (humidity) 를 포함한 프로세스의 모든 측면을 정확하게 제어하여 광석학 단계를 수행하도록 설계되었습니다. REC 컴포넌트는 프로세스의 해상도를 조정하여 photolithographic 패턴을 용이하게합니다. 또한 패턴을 기판에 나타내는 노출을 조정합니다. PCS 구성 요소는 TOKYO ELECTRON MARK-V 장비 내의 모든 장비에 대한 주요 자동 제어 모델로 작동합니다. 즉, 각 구성 요소의 성능을 모니터링하여 수백, 수천 개의 기판 사이의 일관성을 유지합니다. 또한 MARK-V 시스템에는 프로세스 중에 수집된 데이터를 모니터링하고 분석하는 데 사용되는 여러 가지 특수 도구가 있습니다. 여기에는 교정 제어, 기판 매핑, 피크 파워 매핑 및 패라메트릭 이미징이 포함됩니다. 이 데이터 수집은 제조 과정에서 품질 (Quality) 과 성능 (Performance) 을 유지하는 데 도움이 됩니다. 결국, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 마이크로 전자 부품을 만들 때 정확성과 신뢰성을 위해 설계된 장치를 제공합니다. 최대 성능을 위해 나노 미터 거리까지 피쳐의 정밀도를 측정하고 노출 시간을 정확하게 레지스터 (register) 합니다. 고급 서브시스템의 조합은 마이크로 일렉트로닉 제작 (microelectronic fabrication) 프로세스에 대한 반복성과 신뢰성을 보장합니다.