판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330
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ID: 293793330
빈티지: 1993
(1) Coater / (2) Developer system.
EMO Function
DEV Spin chuck
Coat spin chuck
IND Unit
ARM Carrier station
BU Unit
(3) Pins col
I/F Unit
Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C
Refrigerator
Utility check:
N2: 4.5 kgf/cm²
VAC: -73.3 kPa
CDA: 3.5 kgf/cm²
DIW: 1.0 kgf/cm²
Chill water: 3.0 kgf/cm²
AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa
Power supply: 100/200 V ± 10%
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 고해상도 반도체 포토 마스크 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. Photoresist 시스템은 집적 회로 (IC) 제조에 사용하기 위해 패턴을 웨이퍼로 전송하는 데 사용됩니다. TEL Mark V 는 신뢰할 수 있는 고성능 시스템으로, 시장에서 가장 까다로운 장치를 위한 정밀성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 1.2nm의 고화질 (high-beam quality) 로 제작되었으며 전체 디스크 패턴 영역에서 프로세스의 정확성을 보장하는 SHR (Super High Readability) 모니터 장치를 갖추고 있습니다. 이미지 해상도가 뛰어난 15형 LCD 터치스크린 디스플레이를 자랑합니다. 기계 제어는 종합적인 소프트웨어 및 자동 프로세스를 통해 레이어 두께 (layer thickness) 및 등방성 에치 속도 (isotropic etch rate) 에 저항합니다. 여기에는 안전 및 생산성을 향상시키는 플라즈마 소스 인터록 (Plasma Source Interlock) 도구 및 인라인 모니터링 자산이 포함됩니다. TEL MARK-V는 Plasma-Simulated Etch Rate Control을 사용하여 스마트 PVT (Photo Lithography Temperature) 를 통해 산 에치 속도의 불균일성을 제거합니다. 이 모델은 온도와 습도의 변화에 대한 웨이퍼 온도를 조정하는 한편, 에칭 중 플라즈마 에너지 수준을 제어합니다. 스마트 PVT (Smart PVT) 는 기존 시스템보다 패턴 가장자리가 덜 거칠어 패턴 충실도가 높아지는 것으로 유명합니다. 시간과 비용 절감 분야에서 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V에는 SSSR (Super Speed Step-and-Repeat) 스캐너와 통합 Resist Coater-Developer가 장착되어 있습니다. 이러한 자동 메커니즘은 각각 필름 처리 (Film Processing) 및 마스크 정렬 (Mask Alignment) 과 같은 작업 시간과 비용을 줄입니다. 또한, 이 장비에는 수작업 (Manual Labour) 을 최소화하여 빈번한 하드웨어 유지 관리의 스트레스를 완화하기 위해 매우 신뢰할 수있는 포토 마스크 리무버 (Photomask Remover) 가 제공됩니다. 결론적으로 MARK-V는 고급 IC 제조를위한 정교한 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 고음질, Smart PVT, SSSR 및 통합 Resist Coater-Developer 기능과 같은 정밀도를 보장하는 기능을 자랑합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 시스템 정확도와 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다.
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