판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759031

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 장치의 정확한 패턴을 위해 설계된 고급형 Photoresist Equipment입니다. 이 시스템은 기판에서 다양한 모양과 크기의 고해상도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 첨단 광학 시스템 (Optical System), 고정밀 자동화된 단계 (High-Precision Automated Stage), 정밀한 로봇 공학을 사용하여 정밀한 정렬 및 등록을 수행하는 매우 첨단 기술입니다. 이 장치는 0.5 미크론의 위치 반복 가능성, 0.5 미크론의 랩핑 정확도 및 0.5 미크론의 기울기 정확도로 매우 정확합니다. 이를 통해 여러 세대에서도 정확한 패턴과 모양이 달성 될 수 있습니다. 또한 기계는 직경이 최대 600mm인 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 정밀도 고정밀도 광학 측정 자산 (optical measurement asset) 이 완전하게 장착되어 있어 정확하고 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 이 모델을 사용하면 이전에 측정한 값에 따라 이미지를 자동으로 수정하고 최적화할 수 있습니다 (영문). 이 장비는 마스킹, 노출, 제거 등 다양한 작업을 수행하도록 프로그래밍되었습니다. 마스킹 (Masking) 에는 기판을 덮는 포토레스 물질 (photoresist material) 의 사용이 포함되며, 이는 빛이 기판에 도달하지 못하도록 특별히 설계되었습니다. 노출 (Exposure) 은 특정 양의 빛에 노출되어 화학적으로 민감한 물질을 활성화시키는 과정이며, 제거 (removal) 는 마스크를 제거하여 원하는 패턴을 얻는 과정입니다. TEL Mark V에는 패턴화 된 기능의 레이저 트리밍을위한 레이저 트리밍 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 기판의 고정밀 트리밍 및 에칭 (etching), 패턴에서 원하지 않는 피쳐 제거, 패턴의 정확도 증가 등이 가능합니다. 이러한 모든 기능은 TOKYO ELECTRON MARK-V를 매우 고급 포토 esist 단위로 만듭니다. 이 제품은 매우 정확한 패턴화 (patterning) 기능과 반복성을 보장하므로 다양한 산업용 어플리케이션에 적합합니다. 기판에서 다양한 모양과 크기의 고해상도 (High-resolution) 패턴을 생산할 수 있으며, 포지셔닝 (positioning) 과 반복성이 있으며, 반도체 및 기타 정밀 장치의 생산에 적합합니다.