판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821344

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V 포토 esist 장비는 반도체 제조에서 포토 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 처리 도구입니다. TEL Mark V는 고급 광학, 안정적이고 정확한 노출 제어, 독특한 라인 모양의 조명기 디자인을 사용하는 고급 침수 석판 시스템입니다. 이 장치 는 광전술사 (photoresist) 를 빠르고 정확 하게 노출 시켜, 반도체 산업 에서 사용 할 수 있는 최고 수준 의 장치 공정 (process control) 을 산출 한다. TOKYO ELECTRON MARK-V 포토 esist 머신은 3 개의 별개의 광학 구성 요소로 구성되어 있으며, 포토 esist 레이어에 원하는 패턴을 생성합니다. 이러한 컴포넌트에는 조명기, 레티클 및 비축 이미지 평면 정렬 도구가 포함됩니다. 조명기 (Illuminator) 는 웨이퍼에 균등하게 빛을 퍼뜨려 일관된 노출을 보장하는 라인 모양의 장치입니다. 레티클에는 패턴 오버레이 (patterned overlay) 가 있으며, 이 오버레이는 photoresist 레이어에 장치 레이아웃을 정확하게 기록하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 정렬자는 조명기와 레티클을 결합하여 광선과 패턴 오버레이 (patterned overlay) 를 포토레지스트 레이어 (photoresist layer) 에 정확하게 배치합니다. TEL MARK-V 포토레지스트 (photoresist) 에셋에는 또한 노출을 즉석에서 조정하여 매우 균일하고 정확한 용량을 보장하는 자동 노출 제어 모델이 포함되어 있습니다. 이 장비는 또한 고급 사전 스캐너 (advanced pre-scanner) 를 사용하여 패턴을 웨이퍼로 옮길 때 잘못된 정렬을 감지하고, 스캐너 후 (post-scanner) 를 사용하여 원하는 장치 형상이 가장 정확한지 확인합니다. TOKYO ELECTRON Mark V 시스템은 또한 유연성이 뛰어나 운영자가 용량, 초점, 스냅 매개 변수를 쉽게 수정할 수 있습니다. 결론적으로, MARK-V photoresist 장치는 반도체 장치 처리를 위해 설계된 매우 정교하고 고급 기계입니다. 공정 개선에 필요한 정밀성과 유연성, 고도로 균일하고 정확한 수준의 포토리스 (photoresist) 노출이 보장됩니다. 전반적으로, Mark V 도구는 우수한 장치 생산량 및 프로세스 제어를 제공하는 반도체 생산을위한 신뢰할 수있는 도구입니다.