판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384736

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V 포토 esist 장비는 초고밀도 집적 회로 칩 제조에 사용되는 고급 기술입니다. 얇은 회로 필름에서 저항층의 증착과 에칭을 가능하게한다. photoresist 시스템은 선행 에지 웨이퍼 및 마이크로 프로세서를 위해 특별히 설계되었습니다. 첨단 공정 제어기 (advanced process control machine) 와 정교한 광학 장치를 결합한 고성능 기계다. TEL Mark V는 submicron aligner, photoresist dispense module, chemical pre-strip module, plasma stripper module 및 resist strip module을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 정렬 자 (aligner) 는 포토 esist 분배 장치에 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 데 사용되며, 포토 esist 분배 모듈은 포토 esist 감광 물질을 웨이퍼에 분배하는 데 사용됩니다. 화학 프리 스트립 모듈은 레지스트 사진을 준비하기 위해 예비 웨이퍼 준비에 사용됩니다. Plasma Stripper Module은 필요에 따라 특정 레이어의 플라즈마 에칭을 활성화합니다. 마지막으로, 저항 스트립 모듈을 사용하면 개발 후 저항 레이어를 제거할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V (TOKYO ELECTRON MARK-V) 의 서브 미크론 정렬기는 서브 미크론 정확도로 이미징 도구를 사용하여 웨이퍼에 피쳐를 정렬 할 수 있습니다. 이 도구에는 스캔 정렬 (scan align), 부드러운 정렬 (smooth align), 초점 정렬 (focus align) 등 다양한 정렬 방법이 있습니다. 마크-V (MARK-V) 의 포토레스 디스펜스 모듈은 자동 엔드 포인트 모니터로 구성되며, 이는 증착 중 포토리스 트 노출 상태를 추적하는 데 사용됩니다. 또한 열전도체 분배 센서 (photoresist) 의 정확한 위치에 사용되는 열전도체 분배 센서가 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V (TOKYO ELECTRON MARK-V) 의 고급 프로세스 제어 자산은 온도 컨트롤러로 구성되며, 이 컨트롤러는 이미지 품질을 정확하게 제어하기 위해 웨이퍼 및 포토 esist 재료의 온도를 모니터링하는 데 사용됩니다. 이 모델에는 자동 기판 분석 도구가 있으며, 이를 통해 키 웨이퍼 특성을 신속하게 확인할 수 있습니다. Mark V 포토 esist 장비는 초고밀도 회로 칩을 매우 정확하고 고성능 제작합니다. 이 "에너지 '는 광물질 의 빠르고 정확 한 정렬 과 증착 을 가능 하게 해 주며, 최대 의 표준 으로 복합 장치 를 생산 할 수 있게 해 준다. 고급 공정 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 을 사용하면 온도 모니터링 및 기판 분석을 신중하게 수행하여 결과의 정확도를 더욱 높일 수 있습니다.