판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758869
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment는 정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급, 매우 강력한 포토 esist 개발 시스템입니다. TEL Mark V는 파장 필터가 장착 된 광원을 사용하여 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide) 및 기타 반도체 기판 재료에 대한 포토 esist 이미지를 개발합니다. 이 필터는 강도 수준과 파장을 조절하여 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다. 이 필터는 다양한 전원 수준의 UV, 가시 광원 (visible) 및 IR (near-IR) 광원과 같은 광원 배열을 허용하도록 설계되었습니다. 이 포토 esist 단위는 또한 "플로팅 (floating)" 포커스 메커니즘을 특징으로하여 큰 포커스 범위와 더 큰 위치 정밀도를 가능하게한다. 이 기능은 초점 정확도가 최대 1 미크론 수준이며 균일하고 일관된 이미징을 보장합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 웨이퍼 크기와 위치를 제어하는 정밀 스테이지 머신을 사용합니다. 이 도구를 사용하면 nanometer 범위의 단계 해상도로 스테이지를 이동할 수 있습니다. 또한 WaferMapper 기능이 내장되어 있어 프로세스 조건과 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 안전성 측면에서 TOKYO ELECTRON Mark V는 보호 기능을 잘 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 UL 및 CE 표준과 같은 글로벌 안전 표준과 일치합니다. 또한 배기 필터 에셋이 장착되어 있어 배기 가스 (fume) 를 제어하여 사용자 안전성을 향상시킵니다. TEL MARK-V에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있어 부드럽고 쉽게 작동할 수 있습니다. 이 인터페이스는 프로세스 설정의 시각적 맵 (visual map) 을 표시하므로 프로세스 조건에 대한 이해도를 높일 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 오류 관리 및 오류 감지를 제공합니다. 네트워크 인터페이스 (network interface) 가 장착되어 있어 정보를 신속하게 공유하고 다른 시스템과 쉽게 연결할 수 있습니다. 전반적으로 Mark V Photoresist Model은 라이트 필터, 매우 정밀한 스테이지 장비, 사용자 친화적 인 인터페이스 등 고급 기능으로 인해 고급, 정밀 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 안전 기능을 통해 사용자 안전성을 높일 수 있으며, 장애 관리 및 오류 감지 (error detection) 기능을 통해 잠재적인 문제를 신속하고 정확하게 파악할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 MARK-V 는 고급, 정밀 웨이퍼 처리를 원하는 고객에게 이상적인 선택이 됩니다.
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