판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293646085

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V 포토 esist 장비는 반도체 웨이퍼에서 포토 esist 패턴을 빠르고 정확하게 개발하고 처리하도록 설계된 고성능 웨이퍼 제작 시스템입니다. TEL Mark V 장치는 고급 레이저 및 이미징 기술을 사용하여 빠르고 정확하며 일관된 photomask 재생을 수행합니다. 이를 통해 사용자는 절대 반복성과 최소 폐기물로 포토 esist 코팅 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 에 패턴 또는 디자인을 생성, 저장 및 재생산할 수 있습니다. 이 기계의 스캐닝 레이저 리소그래피 (scanning laser lithography) 는 여러 개의 레이저 파장과 가변 슬릿 위치를 사용할 수 있으므로 복잡한 포토 마스크 디자인을 매우 정밀하게 재생할 수 있습니다. 또한, 도구는 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 모드와 리피트 플라이트 (repeat-flight) 모드를 모두 사용하도록 구성하여 웨이퍼 처리량을 더욱 향상시킬 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 에셋에는 고급 이미지 분할 알고리즘 (Advanced Image Splitting Algorithm) 이 장착되어 있으므로 단일 photomask를 많은 웨이퍼 슬라이스로 분할 할 수 있습니다. 이 기능을 통해 제조업체는 웨이퍼 활용도를 극대화하고 처리 시간을 줄일 수 있습니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V photoresist 모델에는 완성 된 photoresist 패턴을 자동으로 검사하기위한 강력한 비전 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 각 웨이퍼 조건과 형상에 대한 실시간 피드백 (real-time feedback) 을 제공하여 전체 프로세스 동안 속도와 정확도를 모두 보장합니다. 전반적으로 MARK-V photoresist 유닛은 사용자가 웨이퍼 제작을 위해 강력하고, 안정적이며, 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 고급 레이저 (Laser) 및 이미징 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 포토 마스크 재생, 이미지 분할 및 검사를 통해 반도체 웨이퍼에 복잡한 패턴 형성을 위해 안정적이고 비용 효율적인 시스템을 제공합니다.