판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9276699
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 TEL (TOKYO ELECTRON) 에서 제조 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 업계에서 제조 플랜트의 웨이퍼 (wafer) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품 처리에 사용된다. 이 시스템은 자외선 (UV light) 에 웨이퍼 (wafer) 를 노출시켜 작동하며, 이는 중합체 물질 또는 광물질 코팅의 증착을위한 촉매제 역할을합니다. 이 "코우팅 '은" 웨이퍼' 에 원하는 구조 를 만들기 위한 산성 용액 이 있는 특정 한 부면 에서 떨어져 나갈 수 있다. 이 프로세스는 집적회로의 제작에 필요합니다. 즉, 단 몇 분 안에 엄격한 공차를 가진 고정밀 패턴 (high-precision pattern) 과 형상 (geometry) 을 생성할 수 있습니다. TEL Mark V는 완전 자동화된 장치로, 효율적이고 안정성이 뛰어납니다. Closed Loop Wafer Aligner, 고해상도 모니터, 디지털 신호 처리 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이것 을 통하여 기계 는 "웨이퍼 '의 위치 와 움직임 을 정확 하게 추적 할 수 있으며, 이것 은 광전도사" 코우팅' 을 정확 하게 처리 할 수 있게 해 준다. 이 도구에는 먼지와 파편으로 인한 오염을 줄이는 웨이퍼 (wafer) 운송 자산과 포토 esist의 균일 한 분포를 보장하는 저항 코팅 챔버 (resist-coating chamber) 가 장착되어 있습니다. 효율적인 설계 외에도 TOKYO ELECTRON MARK-V는 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 음수 (negative), 양수 (positive), 이중 금속층 (dual-metal layer) 과 같은 다양한 유형의 광사 물질을 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 응용 프로그램에 따라 다른 패턴을 생성 할 수있는 "델타 라인 (delta-line)" 이라는 기능도 포함되어 있습니다. 이를 통해 MARK-V를 리소그래피, 에칭, 도금, 금속화, 장치 구조 등 다양한 유형의 작업에 사용할 수 있습니다. 게다가, 장비는 기대 수명이 길어 모든 환경에서 안정성과 일관성 (Consistent Performance) 을 제공합니다. 전반적으로, TEL MARK-V는 전자 산업에서 다양한 작업에 사용되는 고급 포토 esist 시스템입니다. 이 제품은 정확한 처리 기능, 자동화된 기능, 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 신뢰성이 높으며 기대 수명이 길어 오래 지속되는 성능을 제공합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 제작하는 데 이상적인 솔루션이 됩니다.
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