판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 TEL Ltd에서 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조업체에 개선 된 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 스텝퍼 (stepper) 와 스캐너 (scanner) 조합 축을 사용하여 넓은 영역 기판에 회로 패턴을 정확하고 안정적으로 전달할 수 있습니다. TEL Mark V는 DSP (Integrated Digital Signal Processing) 환경을 갖추고 있어 프로세스 제어를 단순화하고 수작업 개입을 줄이고 레시피 개발을 단순화합니다. 또한 테스트 목적으로 여러 파장의 빛을 제공하는 고해상도 이미징을 제공하는 LEAP 반도체 검사 장치 (LEAP Semiconductor Inspection Unit) 가 있습니다. 또한 LEAP 기계는 인다이 (in-die) 프로세스 특성을 측정할 수 있으며 필요에 따라 수정 조치를 취할 수 있습니다. 또한이 도구에는 표면 장력 모듈과 울트라 틴 탑코트가 포함됩니다. 이렇게 하면 매우 매끄러운 서피스가 형성되어 표면 변이 (surface variation) 로 인해 발생할 수있는 교란이 제거됩니다. 이것 은 균일 한 증착 을 보장 해 주며, 교묘 한 "트렌치 '와 융기 의 생성 을 방지 해 주며, 이것 은 전이 과정 에서 왜곡 을 일으킬 수 있다. 또한, 여러 개의 레이저 커버가있는 UV 노출을 특징으로하는 마스크 없는 리소그래피 (lithography) 자산이 장착되어 있습니다. 따라서 선 너비 (line width) 가 최소화되어 빠르고 정밀한 노출 프로세스가 가능합니다. 또한 라인 손실을 줄이고 오버레이 정밀도를 높이는 고출력 레이저가 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON MARK-V 모델은 고급 반도체 제조 요구 사항을 위해 안정적이고 정교한 석판 공정을 제공합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 매우 정밀하고 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 가변 중첩 (overlaping) 을 통해 사용 편의성을 위해 설계되었습니다.