판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 고급 반도체 장치 제조의 석판 공정에 사용하도록 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 저항 기능 및 고급 표면 평면 화 기능을 강화합니다. TEL Mark V는 정확성과 정밀도로 고밀도 저항 디자인과 섬세한 기능을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 열 및 냉각 단계, 여러 가스 소스 및 기타 부품을 갖춘 닫힌 루프 (closed-loop) 장치를 사용하여 깨끗하고 온도가 조절되며 오염 없는 환경을 만듭니다. 동작, 온도, 습도 제어, 표면 평면 화의 균일성 (uniformity of motion) 을 포함하여 매우 높은 수준의 정확성과 프로세스 반복성으로 처리 할 수 있습니다. 기계는 높은 정확도의 포토 esist 코팅 및 에칭을 달성하도록 최적화되었습니다. 여기에는 저항 혼합 챔버, 스핀 코팅 헤드 (spin coating head), 저항 스트리핑 도구 (resist stripping tool) 및 저항 제거를 돕는 핫 플레이트가 포함됩니다. 추가 기능으로는 저항 건조 챔버, 에치 챔버 (etch chamber) 및 장치의 공정 후 냉각을위한 칠러 (chiller) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V (TOKYO ELECTRON MARK-V) 는 장치 엔지니어가 특정 석판화 요구 사항을 충족하도록 설정을 쉽게 조정하고 수정할 수 있도록 통합된 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 이를 통해 속도, 온도, 압력, 몰입 시간, 전력 수준 등의 매개변수를 신속하게 변경하여 정밀 에칭 및 코팅 프로세스를 사용할 수 있습니다. 또한, MARK-V 는 프로세스/장애 상태에 대한 실시간 피드백을 제공하고, 반복 가능한 디바이스 제작을 위한 프로세스 제어를 철저히 보장하는 정교한 프로세스 모니터링 (process monitoring) 자산을 갖추고 있습니다. 또한 이 모델은 자동으로 설정을 조정하여 장비의 성능을 최적화합니다. 요약하면, TEL MARK-V photoresist 시스템은 장치 제작을위한 고급 도구이며, 높은 수준의 정확성과 프로세스 반복성을 제공합니다. 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 및 온보드 프로세스 모니터링 장치 (Onboard Process Monitoring Unit) 를 사용하면 다양한 리소그래피 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 다양한 기능이 Etch 및 Resist 코팅과 같은 고급 프로세스를 지원합니다. TOKYO ELECTRON Mark V는 포토 esist 처리를 위해 안정적이고 효율적인 기계를 제공합니다.