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타원계 (Ellipsometer) 는 정밀도 및 정확도가 높은 박막의 두께 및 광학적 특성을 측정하는 데 사용되는 정교한 광학 기기입니다. 이 기기는 타원계의 원리를 사용하는데, 여기에는 샘플 표면에서 반사 된 빛의 편광 상태 변화를 분석하는 것이 포함됩니다. 타원계의 기본 설정은 광원, 편광기, 샘플 스테이지, 분석기 및 검출기로 구성됩니다. 광원은 편광 된 광선 (beam) 을 방출하고, 그 후 샘플 표면쪽으로 향한다. 빛이 샘플과 상호 작용함에 따라, 박막 (thin film) 의 존재로 인해 편광의 변화를 겪는다. 분석기는 편광의 변화를 측정하고 필름의 두께 (thickness), 굴절률 (refractive index) 및 기타 광학 특성에 대한 정보를 제공합니다. 타원계는 일반적으로 반도체 제조, 광학 코팅, 재료 과학 등 다양한 연구 및 산업 분야에서 사용됩니다. 그 들 은 특히 반도체 "웨이퍼 ', 광학" 렌즈' 및 기타 평면적 에 관한 박막 을 연구 하는 데 적합 하다. 타원 측정법 (ellipsometry) 의 주요 장점 중 하나는 샘플과의 물리적 접촉이 필요하지 않기 때문에 파괴적이지 않은 성질입니다. 이를 통해 필름 또는 기판을 손상시키지 않고 반복 측정 및 분석을 할 수 있습니다. 현대 타원계 (Ellipsometer) 는 종종 고급 알고리즘과 소프트웨어를 사용하여 타원법 데이터를 분석하고 출력 매개변수를 제공합니다. 이 기기는 처리량이 많은 측정을 위해 자동화될 수 있으며, 다양한 샘플 크기와 재료를 처리할 수 있습니다. 결론적으로, 타원계는 두께, 굴절률 및 기타 광학 특성 측면에서 박막을 특성화하기위한 귀중한 도구입니다. 이들의 정확성, 비파괴성, 다재다능성은 다양한 업계의 연구, 개발, 품질 관리에 필수적입니다.

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