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CANON FPA 5500 iZ #293659682
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CANON

FPA 5500 iZ

i-Line stepper, 8" Reticle, 6" Uniformity: 2.666% Intensity: 20,707 w/m² Inline: Left to right 2001
62
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CANON FPA 5500 iZ+ #9236391
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Stepper, 12" 2004 vintage.
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i-Line stepper, 8" 2003 vintage.
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