판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9350968

CANON FPA 5500 iZ는 반도체 및 옵토 전자 장치를 제조하는 데 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 마이크로- 및 나노 - 스케일 기능을 생산하여 정밀도와 성능을 높일 수 있습니다. 기계의 중심부에는 5,500 mm 펄스 레이저와 DIF (Differential Imaging) 구성을 결합한 통합 ZAP 듀얼 빔 광학 장비가 있으며, 이 장비는 Photolithography 성능을 향상시킵니다. CANON FPA 5500IZ에는 600 mm 직사각형 프로젝션 렌즈도 포함되어 있으므로 스캔 속도가 빠르고 왜곡이 줄어 듭니다. FPA-5500 IZ의 넓은 필드 면적은 425mm이며, FOBAW (Innovative Feature Based On-Axis Alignment) 시스템이 장착되어 있어 정확성과 반복성이 향상되었습니다. 고정밀 X-Y 스테이지는 매우 정확한 독립적 인 동작 및 스캔 지침을 제공 할 수 있습니다. 높은 생산성 및 신뢰성 향상을 위해, 이 기계는 공구 설치 시간을 단축하여 설계되었습니다. 성능 측면에서 CANON FPA-5500 IZ는 최소 기능 크기가 0.5 µm 인 고정밀도 에칭 및/또는 코팅 된 장치를 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 회절 흐림 감소 기술 (diffraction blur reduction technology) 이 장착되어 있어 회절 유발 마스크 오류의 영향을 줄일 수 있습니다. 고급 스테이지 제어 시스템에는 마스크 대 웨이퍼 정렬과 더 빠른 패턴화를 가능하게 하는 독특한 MRS (Memory Resonant Scan) 기술이 포함되어 있습니다. 또한 FPA 5500 iZ는 안전, 효율성 및 비용 효율성을 높이는 여러 가지 기능으로 설계되었습니다. "레이저 '안전 모니터링 도구 가 갖추어져 있어서" 레이저' 안전 을 보장 하기 위하여 기계 의 환경 을 감시 한다. 이 기계 는 또한 강제 공기 자산 에 의하여 방열 될 수 있는 열 을 발생 시킬 수 있으며, 부품 의 손상 을 방지 하고, "에너지 '효율 을 향상 시킬 수 있다. 마지막으로, 프로그래밍 가능한 논리 모델은 빠르고 쉬운 작업 제어를 위해 대화식 인터페이스를 제공합니다. FPA 5500IZ 는 최첨단 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 까다로운 생산 요구 사항에 적합한 탁월한 정밀도와 성능을 제공합니다. FOBAW, MRS 및 레이저 안전 모니터링 (Laser Safety Monitor) 과 같은 고급 기능은 안정성이 높고 비용 효율적입니다. 따라서 CANON FPA 5500 iZ는 반도체 및 옵토 전자 장치의 제작에 이상적인 선택입니다.