판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9247812

CANON FPA 5500 iZ + 웨이퍼 스테퍼는 높은 처리량, 고해상도 이미징을 위해 고급 반도체 리소그래피를 사용합니다. 다중 파장 비전 (multi-wavength vision) 을 사용하면 여러 레이어를 생성할 때 장비가 복잡한 정렬 및 오버레이 스캐닝을 수행할 수 있습니다. 또한, iZ + 는 패턴 보정과 넓은 동적 범위를 지원하는 고급 광학 서브시스템 어레이를 갖추고 있습니다. DUV (Deep Ultraviolet) 스캐너는 0.18 미크론 기능을 해결할 수 있습니다. CANON FPA-5500IZ + 는 자동 초점 기계가 장착 된 위치 측정 시스템 레이저 투사 장치 (LP) 로, 고정밀도, 고출력 제조를 위해 설계되었습니다. DUV 레이저 용 9 인치 직경 5 피스 렌즈를 장착하여 도구가 높은 이미지 해상도와 150mm의 FOV (Field of View) 에 도달 할 수 있습니다. LP는 넓은 시야 (field of view) 를 통해 측정 할 수 있으며, 장치 웨이퍼 (wafer) 의 생산 및 검사에 정확하고 반복 가능한 정렬 정확도로 사용할 수 있습니다. FPA 5500 IZ++ 웨이퍼 스테퍼에는 고정밀 이미징을 위한 다양한 기능이 있습니다. 선명한 영상을위한 반음계 수차 교정기 (CAC) 와 CAC의 위치 드리프트를 보완하는 피에 조 (piezo) 구동 스캐닝 에셋이 장착되어 있습니다. 또한, 다중 파장 광학 필터는 패턴 간의 미묘한 차이를 감지하는 데 도움이됩니다. 또한, 왜곡을 방지하기 위해 선형 패턴 인식 모델을 사용하여 정확한 정렬을 허용합니다. 또한 내부 신호 처리를 통해 소음을 줄이고 패턴 인식 정확도를 향상시킵니다. DUV 레이저에서 빔 분할 장비를 사용하여 FPA-5500IZ + 는 다른 리소그래피 레이어 사이를 빠르게 전환 할 수도 있습니다. 따라서 다운타임을 최소화하면서 처리 시간을 단축하고 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 360도 스피너 터렛은 여러 위치에 대한 향상된 처리량을 제공합니다. 이렇게 하면 중첩 위치를 빠르게 전환하여 보다 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. CANON FPA 5500 IZ++ 는 또한 내장 자동 모자이크 기능을 제공하여 다중 계층, 고품질 장치를 생산할 수 있습니다. 이 기능은 수동으로 웨이퍼를 다시 정렬하지 않고도 기판을 덮을 이미지 모자이크 (mosaic) 를 생성합니다. 또한, 병렬 노출을 위해 최대 6 배의 레티클을 처리 할 수 있으며, 단일 작업에서 최대 8 배의 노출을 이미지 처리 할 수 있습니다. 전반적으로, FPA 5500 iZ + 웨이퍼 스테퍼는 안정적이고 유연한 장치로서, 복잡한 다중 계층 장치의 높은 처리량과 출력을 위해, 최소화된 왜곡으로 고정밀 이미징을 제공합니다. 폭넓은 기능을 갖춘 이 제품은 빠르고, 정확하게 장치를 생산할 수 있는 최적의 선택입니다 (영문).