판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9293801

CANON FPA 5500 iZ + 는 집적 회로 (IC) 생산 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 직경 200mm ~ 450mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 300mm/s의 빠른 속도로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스테퍼는 웨이퍼에 레티클을 정밀 정렬 할 수있는 고급 이미지 포지셔닝 (image-positioning) 광학 장비를 갖추고 있으며, 각 노출에 대한 서브 미크론 (sub-micron) 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 또한 몇 분 안에 전체 웨이퍼 (wafer) 를 스캔하고 결함 또는 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, FPA 5500은 정밀 단계 동작 제어를 특징으로하며, 이는 노출의 균일성과 웨이퍼 전체 표면에 걸쳐 매우 정확한 웨이퍼-레티클 정렬을 가능하게합니다. "스테퍼 '는 값비싼 전송 장치 를 필요 없이 여러 가지 구성 으로" 머신' 을 설치 할 수 있도록 "콤팩트 '한 설계 를 가지고 있다. 또한, 자동화된 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 기계의 상태를 모니터링하고, 안정적인 운영 프로세스를 보장하기 위해 필요한 예방/수정 유지 관리를 수행합니다. 이 장치는 고성능 LED를 사용하여 웨이퍼의 노출 된 표면 전체에 균일 한 광도를 제공하는 AOIS (Advanced On-Axis Illumination Tool) 로 구동됩니다. 또한, 에셋은 최적화 된 UV 스펙트럼을 사용하여 가장 선명도 및 에지 정의 (edge definition) 를 위해 가장 높은 해상도를 렌더링하고 웨이퍼 유형 (wafer type) 과 두께 (thickness) 에 따라 더 높은 초점 깊이를 렌더링합니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 (wafer) 에 예리한 조명 분야를 투사하여 거의 완벽한 이미지 균일성과 노출의 다양성을 제공하는 높은 정확도 회절 광학 요소 (diffractive optical element) 를 특징으로합니다. 또한 FPA 5500에는 CANON iZ 모니터 모델 (CANON iZ Monitor Model) 이 장착되어 있어 정확한 노출 데이터를 실시간으로 기록하고 보고하여 정확하고 오류가 없습니다. 최고 수준의 품질과 생산성을 보장하기 위해 CANON FPA-5500IZ + 는 통합 품질 보증 장비로 설계되었습니다. 프로세스 변경 사항을 기록하여 프로세스 개선 (process improvement) 및 예방 유지 관리 (preventive maintenance) 를 위해 쉽게 검색할 수 있으며, 협업공간 프로세스 데이터를 공유할 수 있습니다. 또한 FPA 5500 IZ++ 에는 자동 정렬 장치 (Auto Alignment Unit) 가 장착되어 있어 반복 가능한 제품 품질을 보장하는 빠르고 정확한 레티클 간 정렬이 가능합니다. FPA 5500 iZ + 는 안정적이고 정밀한 장치이며 IC 생산 기술 중 최고를 제공합니다. 최대 300mm/초의 놀라운 속도로, 스테퍼는 각 노출에서 엄청난 양의 디테일을 제공하는 반면, 기존의 웨이퍼 처리 (wafer handling) 구성 요소는 더 까다로운 작업을 수용하도록 쉽게 업그레이드 할 수 있습니다.