판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9275017

CANON FPA 5500 iZ는 반도체 제작 프로세스에서 중요한 리소그래피 작업을 수행하는 웨이퍼 스테퍼입니다. FPA 5000 은 FPA 5000 의 향상된 버전으로, 광학 장비가 개선되었고 0.09 "미크론 '까지 기능의 해상도가 높아졌다. 스테퍼는 렌즈 (lenses), 거울 (mirror), 프리즘 (prism) 과 같은 광학 요소 배열로 구성된 렌즈 기술을 사용하여 이미지를 웨이퍼로 전송합니다. 광원의 조리개 (aperture) 를 줄여 이미지의 정확하고 정확한 배치를 허용합니다. CANON FPA 5500IZ는 깊은 UV 리소그래피에 대해 높은 이미징 성능을 가지고 있으며, 양수 및 음수 저항 노출 모두에서 0.09 미크론 (0.009 mm) 까지 선폭을 가진 패턴이 있습니다. 또한 월등한 오버레이 정확도와 낮은 공정 위도 (low process latitude) 를 제공하여 제품 설계에 대한 엄격한 내성을 보장합니다. 이 장치는 개선 된 투영 광전자 시스템 (optoelectronic system) 을 가지고 있으며, 전체 노출 분야에서 조명을 균일화시키는 개선 된 조명 장치 (Lightumination Unit) 를 제공합니다. 이를 통해 고객은 원하는 패턴을 생성하기 위해 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. FPA-5500 IZ 는 매우 정밀한 리소그래피 작업에 적합한 다양한 기능을 제공합니다. 최대 필드는 24 X 24 mm 이며, 최대 필드 크기와 정확도를 위해 10mm (stage translation range) 범위가 장착되어 있습니다. 이 장치는 i-line (365 nm), g-line (436 nm) 및 DUV (248 nm) 를 포함한 다양한 파장에서 작동 할 수 있습니다. 이 기계에는 최대 20 nm 의 반복 가능성으로 70 nm 이상의 정렬 정확도를 보장 할 수있는 고성능 웨이퍼 (wafer) 정렬 도구가 장착되어 있습니다. 기계는 공기 이오나이저, 먼지 필터 (dust filter) 와 같은 기능으로 안정적이고 안정적입니다. 에셋에는 진동 방지 테이블 (anti-vbration table) 이 장착되어 있어 웨이퍼에서 최대 1/2 피치의 안정적인 이미지 배치가 가능합니다. 이 "밸브 '는 진공실 의 오염 을 방지 하는 데 도움 이 되는 내부" 밸브' 를 갖추고 있다. FPA 5500IZ에는 이미지 정보를 쉽게 볼 수 있는 대형 LCD 모니터도 있습니다. 자동화 측면에서 CANON FPA-5500 IZ에는 다양한 처리량을 위해 최대 3개의 사용자 정의 가능한 자동 로드 기능을 지원할 수있는 업그레이드 가능한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 제어할 수 있으며, 이를 통해 전체 자동, 반자동 또는 수동 작업이 가능합니다. 이 기계는 노출 시간을 줄이고 시간당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 높은 공정 속도 (process speed) 를 가지고 있습니다. 전반적으로, FPA 5500 iZ는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 향상된 광학 시스템을 통해 향상된 해상도와 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼 정렬 및 오버레이 (overlay) 의 높은 정확성과 효율성 및 처리량 향상을 위한 자동화 옵션을 제공합니다.