판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9247811

CANON FPA 5500 iZ는 반도체 부품 제조에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. PGCT (Precision Gap Control Technology) 는 최고 품질의 웨이퍼를 생산하는 기능을 유지하면서 정확도, 속도, 처리량을 높이도록 설계되었습니다. 이 기계는 양성음 (positive tone) 과 음성음 저항 (negative resist) 을 패턴화하기 위해 최대 0.1 µm의 해상도에서 스테퍼 조작을 할 수 있습니다. 또한이 기계의 생산량은 1000 웨이퍼/hr (wafers/hr) 로 상업적 생산에 적합합니다. 스테퍼는 4 차원 스테이지로 만들어졌으며, 이 스테이지에는 부드럽고 정확한 웨이퍼 처리를 위해 통합 형 inchworm 모터가 있습니다. 이를 통해 정렬 장비 (Alignment Equipment) 의 포지셔닝 정확성을 높이고 여러 웨이퍼 (Wafer) 에 걸쳐 일관된 성능을 보장할 수 있습니다. 게다가, 웨이퍼 테이블에는 웨이퍼 수준의 동질성을 보장하기 위해 온도 조절 시스템 (temperature control system) 과 온도 모니터링 장치 (temperature monitoring unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 최대 2.9mJ/cm2의 노출 율로 5KW 초고압 수은 램프를 사용합니다. 이를 통해 0.3 미터에서 10 미터의 패턴 화 해상도를 가능하게하며, 등각 렌즈 기술로 복잡한 세부 사항과 얕은 층의 에칭이 향상되었습니다. CANON FPA 5500IZ는 또한 자동 스페이서 손실 감지 (Automatic Spacer Loss Detection) 를 제공하여 단일 사이클 내에서 스페이서 손실 장애를 자동으로 감지 할 수 있습니다. 이것은 인간의 감독으로 인한 신뢰성을 크게 높이고 오류 가능성을 줄입니다. 이 도구에는 고해상도의 Cross Stage XY (크로스 스테이지 XY) 가 있으며, 정확한 포지셔닝 및 높은 반복성의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 통합 링 인코더, 절대 반음계 측정, 각도 동작 디텐트 디자인 (detent design) 이 장착되어 웨이퍼 스템 포지셔닝의 최고 정확도를 제공합니다. 또한 FPA-5500 IZ 에는 균일 한 노출 설정을 신속하게 설정할 수 있는 Automatic Zone Setting 기능이 있습니다. 이 기능은 설치 (setup) 프로세스를 단순화하고, 디자인이 혼합되어 있거나, 패턴이 복잡한 웨이퍼를 빠르게 노출시킬 수 있게 해 주는 유리한 기능입니다. 또한 FPA 5500 iZ 는 CANON 서비스 네트워크 (온라인 관리 자산, 자격을 갖춘 인력의 기술/엔지니어링 지원, 원격 문제 해결 등 다양한 추가 옵션 포함) 를 통해 탁월한 판매 후 서비스를 제공합니다. 결론적으로, FPA 5500IZ는 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 반도체 업계에서 정밀하고 복잡한 무늬를 생산하는 데 적합하고, 빠른 속도와 정확성을 지닌 "고밀도 (high-precision) '를 자랑한다.