판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #293659682

ID: 293659682
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
i-Line stepper, 8" Reticle, 6" Uniformity: 2.666% Intensity: 20,707 w/m² Inline: Left to right 2001 vinatge.
캐논 FPA 5500 iZ (CANON FPA 5500 iZ) 는 반도체 산업의 마이크로프로세서 및 기타 매우 정밀한 구성 요소를 만드는 데 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계 는 "웨이퍼 '에 반도체" 패턴' 을 정확 하게 형성 할 수 있는 고급 장비 설계 를 가지고 있다. 이 기계에는 통합 UV 노출 시스템이있는 크고 평평한 X-Y 스테이지가 있습니다. 이를 통해 패턴을 형성할 때 정확한 정렬 및 웨이퍼 위치를 확보할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀도, 고해상도 레티클 스테이지 (reticle stage) 를 가지고 있으며, 수동 조정 없이도 한 웨이퍼에서 다음 웨이퍼로 패턴을 정확하게 반복 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 처리 중인 재료에 따라 최대 900mJ/cm2 (최대 900mJ/cm2) 의 노출을 달성 할 수있는 고급 노출 장치가 있습니다. 노출 기계는 연구 등급 광학 및 발광 다이오드 (LED) 를 사용하여 외부 광원의 간섭 가능성을 줄입니다. 이 기계는 향상된 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스를 사용하여 포토 esist 재료를 웨이퍼 표면에 배치합니다. 이 과정을 통해 미세 (fine-grained) 패턴을 형성할 수 있으며 원하는 마이크로프로세서 또는 기타 컴포넌트를 생성하는 데 사용됩니다. 공정은 최소 100 나노 미터의 기능 크기로 매우 정확합니다. 데이터 관리 툴 (data management tool) 이 시스템에 통합되어 시스템, 주변 장치, 호스트 컴퓨터 간에 데이터를 보다 쉽게 전송할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템에서 생성한 데이터가 정확하고 일관성이 유지됩니다. CANON FPA 5500IZ는 또한 실리콘 기반 웨이퍼 및 갈륨 기반 웨이퍼를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 에셋은 또한 다양한 유형의 포토 마스크 및 기타 웨이퍼 제작 도구와 호환되도록 설계되었습니다. 전반적으로, FPA-5500 IZ (FPA-5500 IZ) 는 반도체 업계에서 가장 까다로운 프로젝트의 요구를 충족하도록 설계된 고급적이고 매우 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능과 모델 디자인 (Model Design) 은 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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