판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9391644

CANON FPA 5500 iZ + 는 고정밀, 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 현대 반도체 생산 라인의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. FPA 5500 iZ의 개선 된 버전이며, 뛰어난 이미지 품질, 빠르고 정확한 스캔, 향상된 웨이퍼 처리량을 제공하는 완전히 새로운 IZ + 리소그래피 엔진을 갖추고 있습니다. CANON FPA-5500IZ + 에는 65 나노 미터 (nm) 렌즈가 장착되어 있어 오버헤드가 낮고 비용/성능이 향상됩니다. 첨단 엔지니어링과 혁신적인 디자인의 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 다양한 크기와 모양의 웨이퍼에 고품질 패턴을 만들 수 있습니다. FPA 5500 IZ++ 에는 정밀 패턴이 형성되는 6 인치 와이드 비즈니스 이미징 플레이트 (BIP) 가 장착되어 있습니다. 이 BIP는 초고해상도 이미징에 사용하기 위해 나노미터 규모의 정밀도를 가진 첨단 폴리머로 만들어졌습니다. 내장형 포지셔닝 시스템을 통해 CANON FPA 5500 IZ++ 는 향상된 실루엣 및 라인 충실도를 위해 스캔을 정확한 패턴에 정확하게 등록할 수 있습니다. 공백 필터는 또한 원치 않는 노이즈를 제거하고 웨이퍼 부종 (wafer swelling) 및 두께 변형 (thickness variations) 에 의해 발생하는 왜곡을 줄이는 데 도움이됩니다. FPA-5500IZ + 는 높은 처리량과 높은 정확도를 제공하도록 설계되었으며, 이는 고급 반도체 생산 라인에 적합합니다. 고정밀도 센서는 스캔 중인 웨이퍼의 정확한 위치에 대해 밀접하게 추적하고 반응하여 모든 광학 (optical) 단계에서 정확한 패턴 정렬 (pattern alignment) 을 보장합니다. 또한, 고유한 스티칭 알고리즘은 두 개의 동기화된 스캔 헤드 (scan head) 가 데이터 흐름의 중단 없이 패턴을 정확하게 결합할 수 있도록 합니다. FPA 5500 iZ + 에는 하드웨어 및 소프트웨어가 통합되어 있어 유지 보수 및 운영이 간편합니다. 자동 교정 시스템은 스테퍼를 최고 패턴 충실도에 맞게 정렬하고 HD-IL (High-Dynamic-Range Illumination System) 은 일관된 패턴 품질을 보장합니다. 이 두 시스템 모두 장치의 고급 옵티컬 프로세서 (Optical Processor) 와 연동하여 설계되었으며, 가장 복잡한 패턴 (Pattern Shape) 을 보다 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 요컨대, CANON FPA 5500 iZ + 는 최신 반도체 생산 라인의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 혁신적인 엔지니어링, 최첨단 (최첨단) 기능, 작동 편의성을 갖춘 이 장치는 다양한 크기와 형태의 웨이퍼에 고품질의 설계를 만들 수 있습니다.