판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9251794

CANON FPA 5500 iZ + 는 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. iZ + 는 CANON 스테퍼 시리즈의 주력 모델로, 매우 높은 정확도와 높은 수준의 처리량을 가진 패턴을 만들 수 있습니다. 스테퍼는 6 축 장치이며, 각 축은 나노 미터 수준의 정밀도를 위해 독립적으로 프로그래밍 할 수 있습니다. 회절 제한 해상도가 1.2 마이크로미터 인 장거리 렌즈 (long-working distance lens) 를 사용하여 날카로운 가장자리와 부드러운 표면을 가진 패턴을 생성 할 수 있습니다. 최대 해상도 1024 x 1024 픽셀의 고출력 CCD 카메라를 사용합니다. iZ + 는 또한 딥 서브 미콘 패턴을 생성 할 수있다. AOSS (Advanced Opto-Electronic Shuttered System) 는 최소 선 너비/공간 너비 0.30 마이크로 미터의 패턴을 만들어 3D 반도체 장치에 우수한 패턴을 제공 할 수 있습니다. 패턴 디지털 이외에도 18 개의 입력 핀 센스 드라이버 스테이션 (18 Input Pin Sense Driver Station) 이 있으며 복잡한 구성 프로세스에 대한 IP 블록 교차 연결 신호를 제어할 수 있습니다. 또한 iZ + 는 자동 측정 시스템 (automated measurement system) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 스테퍼는 서브미크론 테이프 배치를 측정하고 모든 패턴을 올바르게 형성 할 수 있습니다. 필요한 모든 정렬 데이터는 시스템에서 지속적으로 모니터링하고 기본 제어 장치 (Control Unit) 로 다시 통신하여 실시간 피드백을 받습니다. CANON FPA-5500IZ + 는 반도체 제작을 위해 빠르고, 안정적이며, 고정밀도 높은 도구를 제공하며, 뛰어난 성능과 뛰어난 정확도 패턴으로 심층 모형 패턴을 생산할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 작동하기 쉽고 CANON 견고한 고객 서비스로 백업됩니다. 안정적이고 포괄적인 지원을 통해, iZ + 는 모든 반도체 제작 작업에 장기적인 생산성을 제공할 수 있습니다.