판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9247814

CANON FPA 5500 iZ+
ID: 9247814
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Stepper, 12" 2004 vintage.
CANON FPA 5500 iZ + 는 고급 리소그래피 및 기타 반도체 응용 분야에 이상적인 높은 정확도 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 웨이퍼 크기로 작업하도록 설계되었으며, 2D 및 3D 리소그래피 (lithography) 를 보다 정확하고 효율적으로 만들 수 있도록 기능과 성능의 혁신적인 발전을 자랑합니다. CANON FPA-5500IZ + 는 더 큰 시야 (field of view) 를 가능하게 하는 대형 스캔 단계를 갖추고 있으며, 노출 지점당 1 나노미터까지 해상도로 여러 노출 필드를 수행 할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 처리가 타일링이나 잘못 정렬되지 않습니다. 이 기계는 높은 정확도의 동기식 Z- 시프트 (Z-shift) 기능을 사용하여 웨이퍼 전체에 균일 한 노출과 균질성을 보장합니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 체계적인 오류 및 왜곡을 제거하기 위해 최신 수정이 장착 될 수 있습니다. 여기에는 고급 이미지 수정, 레이저 자동 초점, 소프트웨어 기반 등록 제어 (정확한 초점 및 이미지 처리) 가 포함됩니다. 또한, FPA 5500 IZ++ 에는 특허받은 픽셀 제한 조명, 선형 편광 필터, 가변 각도 필드 크기, 기타 다양한 기능과 같은 최신 조명 및 노출 기술이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 이미지 수차나 이상이 없이 인쇄물이 정확하고 정확하게 노출됩니다. 또한, 시스템은 고급 오버레이 (overlay) 수정을 통합하여 다중 계층 프로세싱의 최소 오류 수준을 보장합니다. CANON FPA 5500 IZ++ 에는 고급 웨이퍼 전송 및 처리량을 위한 고정밀 서버 모터와 고유한 웨이퍼 추적 시스템 및 데이터 통신 모듈이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '처리 가 신속 하고 효율적 이 되며, 기계 에 부당 한 마모 와 눈물 을 흘리지 않게 된다. 마지막으로, 웨이퍼 스테퍼는 24/7 서비스 팀과 세계적 수준의 고객 지원으로 지원됩니다. 이렇게 하면 기계와 관련된 문제가 신속하게 해결됩니다. 전반적으로 FPA-5500IZ + 는 심각한 석판기 및 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다. 기존 리소그래피 (lithography) 와 관련된 일반적인 문제가 없어도 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리를 보장하도록 설계된 광범위한 기능을 자랑합니다.
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