판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9235467

CANON FPA 5500 iZ는 모범적인 이미징 성능과 정확성을 달성하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 DUV (Deep 자외선) 석판화 기술을 사용하여 마이크로 칩 및 기타 반도체 장치를 처리하는 질소-가스 냉각 스테퍼입니다. CANON FPA 5500IZ에는 멀티 레이어 디자인, 고효율 조명 장치 및 로터리 인코더로 구성된 매우 정확한 주 이미징 시스템이 있습니다. 다층 설계는 가장자리 명암을 높이기 위해 배경광을 부분적으로 흡수하는 반면, 고효율 조명기 (HI) 는 올바른 대체 이미징 레벨을 중계하는 데 도움이됩니다. 한편 로터리 인코더는 정확한 위치 정보를 제공합니다. FPA-5500 IZ는 또한 0.00024nm 선 정확도로 0.0050äm 셀 정확도를 특징으로하여 패턴 배치 정확도가 높습니다. 또한 뛰어난 이미징 성능을 위해 0.5nm CD 균일성과 0.0015äm 이미지 정확도를 제공합니다. 또한이 도구의 조명 광학은 숫자 조리개가 0.60 인 5 배 감소 광학을 사용합니다. FPA 5500IZ의 고성능 이미징 (HPA) 과 정확도는 자동 교정으로 더욱 향상되어 조정 오류를 최소화합니다. 또한 빠른 노출 및 음영처리 (shading correction), 자동 단계 패턴 정렬 (auto-stage pattern alignment) 및 최적의 이미징 초점을 유지할 수있는 온축 자동 초점 모델 (on-axis autofocus model) 과 같은 여러 가지 다른 외부 컨트롤 (fast-track asset) 이 장착되어 있습니다. 또한이 장비는 공기 냉각 (air cooling) 로 인한 입자 하중의 감소뿐만 아니라, 0.1äm 정도의 작은 입자를 사용한 효과적인 공기 여과를 특징으로합니다. FPA 5500 iZ의 전체 디자인은 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수 있으며 챔버에 저압 (6 파스칼) 이 있습니다. 뛰어난 이미징 성능, 정확성, 신뢰성을 제공함으로써, 이 시스템은 정확한 정확도로 복잡한 이미지를 만들어야 하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.