판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9251792

CANON FPA 5500 iZ + 는 고정밀도, 비용 효율적인 포토 마스크 생산을 위해 설계된 반자동 포토 리토 그래픽 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 시스템은 photomask 패턴을 비교적 쉽고 빠르게 생성하는 데 필요한 유연성과 정밀도를 제공합니다. 이 장치는 매우 강력한 스테퍼 엔진을 갖추고 있으며, 빠른 속도, 높은 정확도 및 최소 패턴 왜곡을 제공합니다. 스테퍼 엔진은 고속, 정밀하게 정렬 된 광학 헤드 (optical head) 와 결합하여 매우 높은 해상도로 마스크를 효율적으로 스캔합니다. 최대 5 개의 레티클 (reticle) 을 사용할 수 있으므로, 시간과 비용을 절감하는 것이 스테퍼가 패턴을 겹치는 것으로 간주되어 여러 작업에 이상적입니다. 이 기계는 고급 정렬 도구와 VLSI 및 CMP 프로세싱에 적합한 다이 정렬 기능으로 제작되었습니다. 고정밀도 정렬 (High-Precision Alignment) 에셋을 통해 설정 시간을 최소화하고 여러 마스크를 단일 웨이퍼에 쉽게 등록할 수 있습니다. 여러 기판 및 레티클 (reticle) 크기를 지원하는 기능은 다양한 크기의 패턴을 사용하는 고객에게 적합한 선택입니다. CANON FPA-5500IZ + 에는 잉크 제트 드롭릿 검사 모델이 있습니다. 이 장비는 마스크 표면의 결함을 감지하고, 결함 있는 패턴을 신속하게 파악한 다음, 데이터를 조작하거나, 교정 조치 (예: 현재 패턴을 재배치하거나, 결함 있는 표면을 폐기하는 등) 를 수행할 수 있습니다. 통합 photomask 제작 환경은 photomask 패턴을 설정하고 관리하는 데 필수적인 기능을 제공합니다. 이 시스템은 매개변수 설정 프로세스를 단순화하여 효율성을 높이고 비용을 절감합니다. 또한 마스크 제작 도구 (Mask Production Tool) 는 효율성과 정확성을 높이기 위해 모든 관련 데이터와 기록을 관리합니다. 최적의 성능을 얻기 위해 FPA 5500 IZ++ 에는 닫힌 루프 제어 장치가 있습니다. 이 기계는 정확한 성능을 위해 기판 온도 및 포토 마스크 단계를 모니터링합니다. 통합 온도 제어 도구 (Integrated Temperature Control Tool) 는 자산의 작동 기간에 관계없이 정확한 결과를 위한 균일 한 기판 온도를 보장합니다. 전반적으로 FPA 5500 iZ + 는 고밀도, 비용 효율적인 포토 마스크 생산을 위해 설계된 고급 사용자 친화적 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 이 장비는 정확도를 높이고 비용 절감, 발광 테스트 (Light Emission Testing), 강력한 실시간 기판 처리 기능 (Real-Time Substrate Processing Function) 을 제공하도록 설계된 통합 기능으로, 포토마스크 업계에서 고객에게 이상적인 제품입니다.