판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9293800

CANON FPA 5500 iZ는 매우 정확한 석판 이미지를 생성하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 고급 다원적 감소 (Polychromatic Reduction) 단계 전환 기술을 사용하여 왜곡이 낮고 배경 노이즈가 적은 뛰어난 고해상도 이미지를 제공합니다. CANON FPA 5500IZ는 싱크로트론 (synchrotron) 수준의 이미지 해상도와 기능 균일성을 제공하며 처리량을 향상시키고 개발 시간을 단축합니다. 이 시스템에는 두 개의 고 조리개 목표 (objA 및 objB) 가 장착되어 있으며, 뛰어난 기능 해상도, 기능 선형성 향상 및 전체 분야에서 2 nm 이하의 해상도를 달성합니다. 따라서 주소 지정 능력 향상, 프로세스 제어 향상, 향후 제품 확장성 향상 등의 이점을 누릴 수 있습니다. 또한 FPA-5500 IZ는 CANON Lithography 시스템의 독특한 기능인 DMI (Dual Magnification Imaging) 를 사용합니다. DMI 는 두 개의 객관적 (objective) 렌즈 (lense) 를 결합하여 이미지 세부 사항을 세밀하게 초점을 맞추고 조정하며, 새로운 방법론을 탐색하여 다양한 수준의 기능을 정확히 파악할 수 있습니다. 이 장치는 고급 (advanced), 통합 (integrated) 단계 및 반복 (repeat) 프로세스를 사용하여 노출 매개변수와 함께 필드 크기를 자동으로 조정합니다. 따라서 노출 오류가 발생할 확률이 줄어들어 전체 분야에서 균일성이 보장됩니다. 고속 통합 프로세스와 결합된 온보드 웨이퍼 스테이징 (on-board wafer staging) 옵션은 처리 시간을 줄이고 처리량을 향상시킵니다. FPA 5500IZ는 또한 zoom-lens 범위가 4X 이상인 응용 프로그램을위한 다용도 소형 자동차 도구 인 FPA-100 줌 (zoom) 광학기와도 호환됩니다. 이 장치는 1.8X, 2.2X 및 2.8X의 세 가지 렌즈 유형을 제공하여 사용자가 가장 어려운 이미징 문제에 신속하게 적응할 수 있습니다. FPA 5500 iZ는 CANON 특허 MicroLock 기술과 정밀 리소그래피 애플리케이션을 위해 고급 원격 중심 광학 자산을 사용합니다. 마이크로록 (MicroLock) 은 노출 오정을 방지하고 패턴을 웨이퍼로 정확하게 전송합니다. 통신 광학 모델은 극한 패턴 정확성과 반복성을 위해 정적으로 교정 된 레티클 장비를 사용하여 CANON FPA-5500 IZ를 반도체 제조에 이상적인 시스템으로 만듭니다. CANON FPA 5500 iZ는 리소그래피 요구에 신뢰할 수 있고, 사용하기 쉬운 웨이퍼 스테퍼를 찾는 사람들에게 이상적입니다. 기능 및 고급 기술의 결합으로 인해 CANON FPA 5500IZ는 석판화 정확도와 제품 확장성을 향상시키려는 기업을 위한 귀중한 도구입니다.