판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #9236391

CANON FPA 5500 iZ+
ID: 9236391
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZ + 는 반도체 칩 생산을 위해 매우 정밀하고 단일 레이어 마스크를 생산하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 스테퍼 (Advanced Stepper) 는 365nm의 파장으로 빛의 펄스를 방출하는 레이저 다이오드 (Laser Diode) 를 가진 조명기 소스를 사용하여 매우 정확한 이미지 배치를 가능하게합니다. 또한 iZ + 는 CANON 특허 이미지 등록 장비를 사용하며, 이는 고유 간섭계를 사용하여 각 레이어의 정확한 위치를 측정합니다. CANON FPA-5500IZ + 는 또한 업계 최고의 정밀도 및 처리량을 달성하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. "플라잉 나이프 (flying knife)" 시스템은 각 레이어를 노출시키면서 마스크 표면을 따라 움직이는 회전 블레이드를 사용하므로 잠재적 인 해상도 1 미크론 (micron) 으로 노출됩니다. 또한 디바이스의 고유한 정렬 장치는 자동 (automated) 및 수동 미세 정렬 (manual fine alignment) 을 모두 지원하므로 정밀도가 크게 향상됩니다. FPA 5500 IZ++ 의 필드 크기는 7.5 인치이며, 효율이 높은 옵틱 및 미러는 다양한 크기의 기판에 노출 될 수 있습니다. 이는 고급 가전제품에서 첨단 의료영상장치에 이르기까지 다양한 종류의 "칩 (chip) '생산에 이상적이다. 또한, 훌륭 한 조명기 는 관련 된 모든 층 을 균일 하게 노출 시키도록 설계 되었다. CANON FPA 5500 IZ++ 는 화학적으로 증폭 된 저항 시스템, 빔 다운 (beam-down) 노출 기술과 같은 여러 가지 고급 처리 기술을 사용하여 고속 처리 속도를 유지합니다. 또한 고급 오류 검사 도구 (Advanced Error Checking Tool) 를 사용하여 표시되는 이미지를 지속적으로 모니터링할 수 있으며, 피드백 (Feedback) 에셋을 자동화하면 각 레이어가 제대로 정렬되고 등록됩니다. 이 기능이 풍부한 FPA-5500IZ + 는 소비자/의료 전자 제품의 적절하고 적시에 생산을 보장하기 위해 안정적이고 정확성이 높은 스테퍼를 찾는 반도체 기업에게 이상적인 선택입니다. 최첨단 (state-of-the-art) 처리 기술은 빠른 생산 프로세스를 보장하는 반면, 고급 이미징 및 정렬 시스템은 탁월한 정확도를 보장합니다.
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