판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9228881
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ID: 9228881
웨이퍼 크기: 8"
Automatic Vision Inspection (AVI) system, 8"
Loading configuration: Open cassette & FOUP
Inspection camera: 1.8MB Monochrome CCD
Review camera: 3CCD Color
Illumination: High speed strobe
Operating system: Windows XP
Automatic data collection & reporting
High speed laser focus
Optics: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x
Whole wafers: 1"-12"
Min defect: 0.5 um
Pneumatic inker.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 AUGUST Technologies, Inc.에서 개발 및 제조 한 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 8 월 NSX-105 는 품질 및 생산성 요구 사항을 모두 충족하는 단일 플랫폼에서 완벽한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 솔루션을 제공합니다. RUDOLPH NSX 105 검사 시스템은 혁신적인 2D 및 3D 이미징 기술을 사용하여 높은 수준의 정확성과 정확도로 웨이퍼 결함을 검사합니다. 이미지 캡처 장치에는 컬러, 흑백 (Monochrome), 빌레벨 (Bilevel) 등 다양한 형식으로 품질 이미지를 캡처하는 일련의 고해상도 카메라가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 검사 모듈은 실리콘 및 산화 알루미늄 마스크의 결함을 감지하고 측정 할 수 있으며, 웨이퍼의 공백, 핀홀, 스크래치 및 기타 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. NSX 105 에는 다양한 툴이 장착되어 있어 사용자가 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구에는 모든 마스크/웨이퍼 검사 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있습니다. 검출할 결함의 크기와 모양, 모서리 (edge) 및 노이즈 효과 임계값 (threshold value) 등 검사 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한, 사용자는 여러 개의 검사 모드를 설정하여 특정 결함을 빠르고 쉽게 확인할 수 있습니다. 웨이퍼 검사 모듈은 95% 이상의 반복 가능성과 함께 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 검사를 제공하도록 설계되었습니다. 자산은 시간당 최대 700 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있으며, 정확성과 반복 성을 보장하기 위해 고속 교정 기능을 제공합니다. NSX-105 는 운영 및 유지 보수가 용이한 완전 자동 검사 모델입니다. 이 장비는 효율이 높고 비용 효율적이어서 반도체 마스크, 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 어플리케이션에 이상적입니다. 혁신적인 2D/3D 이미징 기술과 직관적인 사용자 인터페이스를 통해, NSX 105 는 안정적이고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다.
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