판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9248108
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ID: 9248108
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Inspection system, 12"
(2) Load ports (6", 8")
BROOKS Robot and aligner
Optic lens: 5x With SONY CCD 3D Camera
2003 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고급적이고 효과적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 최첨단 이미징 시스템은 2014 년에 개발, 출시되어 비할 데 없는 정확성과 속도를 제공하므로, 모든 생산 라인에 매우 중요한 기능을 제공합니다. AUGUST NSX-105 는 강력하고 효율이 높은 디지털 신호 처리 CPU (Digital Signal Processing CPU) 로 구동되며, 실시간 데이터 출력에 가까운 신속한 이미지 획득 및 온보드 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이미지는 듀얼 픽셀 검출기 (Dictector) 픽셀 어레이로 얻어지고 분석되며, 향상된 해상도와 동적 범위 (Dynamic Range) 를 위해 수정 된 픽셀 구조가 특징입니다. 이 장치는 분리된 점과 메쉬 (mesh) 패턴에서 어둡고 밝은 이미지에 이르기까지 다양한 기능을 감지할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 105의 사용자 제어 및 모니터링은 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 통해 제공됩니다. 이를 통해 운영자는 검사 매개변수 (inspection parameters) 와 설정을 쉽게 액세스하고 구성할 수 있으며, 라이브 이미지를 관찰하고 데이터 분석 결과를 검토할 수 있습니다. 운영자 측에는이 장치에는 스마트 이미지 최적화 도구, 강력한 인공 지능 (AI) 프로세스 엔진 (예: 완벽한 결함 감지, 분석, 보고 기능) 을 포함한 다양한 기능이 풍부한 소프트웨어 도구가 있습니다. 물리적 속성 측면에서 RUDOLPH/AUGUST NSX 105의 크기는 약입니다. 1250mm x 1000mm x 1450mm이며 무게는 약 645kg입니다. 내구성이 뛰어난 재료로 제작된 신뢰할 수 있는 기계 설계 (mechanical design) 를 자랑하며, 까다로운 생산 환경에 쉽게 대처할 수 있습니다. 또한 VMI (Force Feedback Controlled Vision Material Handling) 장치와 함께 제공되며, 향상된 이미지 선명도와 정확성을 위해 정확한 재료 포지셔닝이 가능합니다. 안정적인 처리량과 데이터 정확성을 보장하기 위해 RUDOLPH/AUGUST NSX-105는 다양한 고급 필터링 기술을 활용하여 뛰어난 이미지 선명도를 제공합니다. 이는 기능 크기를 0.35 um 까지 낮출 수 있도록 최적의 이미지 품질을 보장합니다. 또한, 향상된 EIL (Interferometric lithography) 기술은보다 정확한 이미징을 가능하게하여 완전한 결함 감지 및 프로세스 제어를 가능하게합니다. 이 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 머신 (wafer inspection machine) 은 전례없는 성능을 제공하여 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 다양한 기능과 고급 소프트웨어 툴 (Advanced Software Tools) 을 통해 모든 운영/검사 라인에 적합한 경제적이고 안정적인 옵션을 선택할 수 있습니다.
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