판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9274495
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ID: 9274495
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
Automated defect inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS (Robot and aligner)
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens
With CCD 3D camera (SONY)
2003 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 효율적이고 정확도가 높은 웨이퍼, 기판, 레티클 검사 및 도량형을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광학 정렬 교정, 다중 센서 모니터링, 고해상도 이미징 등 여러 가지 고급 기능을 자랑합니다. AUGUST NSX-105는 사용이 간편하도록 설계된 직관적인 플랫폼입니다. 워퍼 (wafer) 및 마스크 검사 (mask inspection) 를 위한 다양한 매개변수 설정을 제공하여 사용자가 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 그래프 출력 옵션 (selectable graph output options) 을 제공하여 다양한 형식으로 결과를 내보낼 수 있습니다. 다중 센서 모니터링 기능은 최적의 프런트 사이드 (front-side) 노출 조건을 보장하여 검사 정확도와 수율을 향상시킵니다. 또한, 기계에는 알고리즘 기반 결함 탐지가 장착되어 있으며, 전체 칩 및 부분 칩 이미지에서 정확한 결함 탐지가 가능합니다. 이 도구에는 6 메가 픽셀 광학 센서가 있으며, 높은 정확도 광학 정렬 교정과 향상된 이미지 품질을 제공합니다. 자산의 이미지 처리 기능은 고급 옵틱 (optic) 과 센서 (sensor) 를 사용하여 향상되었으며, 기존의 도량형 장비보다 훨씬 뛰어난 이미징 성능과 정확성을 제공합니다. 이 모델의 뷰파인더 (viewfinder) 및 라이브 이미지 (live image) 기능을 통해 운영자는 웨이퍼 구성의 실시간 이미지를 얻을 수 있으며, 사용자가 문제를 신속하게 분석 및 해결할 수 있도록 지원합니다. 기기 의 전례 없는 정확도 와 기능 은 여러 검사 "프로파일 '을 저장 하는" 시스템' 의 능력 에 의하여 더욱 보완 된다. 이렇게 하면 사용자가 다른 검사 프로파일과 매개변수 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동화 된 도량형 기능 (automated metrology function) 을 갖추고 있으므로, 사용자는 중요한 구조 구성 요소를 쉽게 측정 할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 105는 상세한 웨이퍼 및 마스크 검사 및 도량형을위한 이상적인 기계입니다. 단일 뷰 (Single View) 에서 다중 뷰 (Multi-View) 상호 작용에 이르기까지 다양한 애플리케이션 요구 사항에 적합하며, 최첨단 분석 프로젝트의 요구에 따라 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 툴은 강력한 기능, 고급 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖추고 있어 반도체 업계의 요구 사항을 충족하는 데 필수적입니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 NSX 105 자산은 Wafer 및 Reticle 검사에서 탁월한 정확도, 속도, 정확성을 제공합니다.
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