판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #293652689
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ID: 293652689
2D Automatic Optical Inspection (AOI) system, parts machine
Missing parts:
Odyssey board
Robot assy
Stage ball screw
Pre-aligner
Camera
Turret
CCD
PC
Power supply.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크 및 웨이퍼 생산에서 최고 수준의 품질을 보장합니다. AUGUST NSX-105는 고해상도 디지털 스캐너 및 고급 소프트웨어 알고리즘을 통합하여 기판의 물리적 이상 (예: 입자, 피팅, 지형 또는 응력 필드) 을 정확하게 감지하고 감지합니다. 이 시스템은 플랫 필드 (flat-field) 와 커브 필드 (curved-field) 조명과 깊은 광학 간섭법 (optical interferometry) 의 조합을 사용하여 공정 후반에 문제를 일으킬 수있는 미묘한 특징을 식별합니다. 입자를 2 미크론 정도의 작은 크기로 식별 할 수 있으며, 고급 소프트웨어 (advanced software) 알고리즘을 사용하여 결함의 이미지를 분석합니다. 단위는 기판에서 입자, 긁힘, 핀홀, 결정 결함, 피트 및 거시 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. 그 "에너지 '는 또한 기판 의 두께 를 측정 하고, 재료 의 광학적 특성 을 정확 하게 탐지 하여, 그 성분 의 교묘 한 차이 를 인식 할 수 있다. RUDOLPH NSX 105에는 멀티 센서 아키텍처, 고급 결함 인식 알고리즘, 자동 자체 모니터링 및 교정, 웨이퍼 3D 이미지 생성 기능 등 다양한 추가 기능이 제공됩니다. 또한, 이 기계는 사용자 정의 기능이 뛰어나며, 사용자가 자사의 애플리케이션과 요구 사항에 가장 알맞게 스캐닝 (scanning) 매개변수를 조정할 수 있습니다. AUGUST NSX 105는 매우 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로, 포토 마스크 및 웨이퍼에 대한 신뢰할 수 있는 품질 보증을 제공합니다. 고해상도 (High Resolution) 와 정밀도 (Precision) 를 결합한 고급 기능으로, 매우 정확하고 안정적인 결함 탐지를 가능하게 하여 생산 공정에서 가능한 가장 높은 수율을 얻을 수 있습니다.
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