판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9191496
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ID: 9191496
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS AUTOMATION Robot and aligner
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens with SONY CCD 3D camera
2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 고속 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 기판에 입자, 긁힘 및 기타 결함이 있음을 감지하는 데 사용됩니다. 이것 은 "스크래치 '뿐 아니라 10" 미크론' 까지의 입자 를 완전 히 자동 탐지 하고 분석 하는 고급 기계 시력 장치 이다. 이 기계는 풀 필드 편광 된 스트로브 라이트 이미징 (strobe light imaging) 을 사용하여 작동하며, 이는 입자 카운팅 알고리즘과 함께 사용되어 입자 및 기타 오염 물질의 존재를 감지합니다. 이 도구는 매우 넓은 지역에 대한 반 투명 입자 (semi-transparent particle) 와 고르지 않은 오염 영역을 감지 할 수 있으며, 이 자산은 넓은 웨이퍼 영역을 한 번에 검사하는 데 이상적입니다. 검사자가 검사 진행을 추적 할 수있는 통합 독점 추적 (Proprietary Tracking) 모델이 있습니다. RudyAUGUST NSX-105에는 고해상도 컬러 카메라와 최첨단 옵틱이 포함되어 있습니다. 카메라는 라인 스캔 (Line Scan) 과 영역 스캔 (Area Scan) 형식으로 구성할 수 있으며, 이를 통해 운영자는 장비를 특정 응용프로그램에 가장 적합한 이미지 품질로 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 시각 검사, 통계 분석 (statistical analysis) 및 기타 용도로 구성할 수 있는 맞춤형 이미지 처리 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 장치는 샘플 홀더, 액체 분산기, 텐셔너 장치 등 여러 액세서리와 함께 작동합니다. "샘플 홀더 '는" 카메라' 에 표본 을 제시 하는 데 도움 이 되며 정확 한 초점 을 결정 할 수 있게 해 준다. 액체 분산 장치 (Liquid Disperser Unit) 는 건조 또는 액체 습식 화학을 샘플에 뿌리는 데 사용되며, 텐셔너 단위는 스크래치를 검출하기 위해 샘플 표면에 정밀하게 장력을 가하는 데 사용될 수있다. 검사 결과는 하드 드라이브에 저장됩니다. 결과는 나중에 참조할 수 있도록 분석, 인쇄 및 저장할 수 있습니다. RudyRUDOLPH NSX 105 (루디 루돌프 NSX 105) 는 신뢰할 수 있는 고품질 기계로, 반도체 업계의 많은 제조업체가 결함을 감지하기 위해 신뢰합니다. 고급 마스킹 (Masking) 및 웨이퍼 (Wafer) 검사 기능을 갖춘 이 도구는 반도체 기판의 잠재적 문제를 빠르고 정확하게 식별할 수 있는 강력한 도구를 제공합니다.
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