판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9293541

RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 효율적이고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 레이저와 카메라를 사용하여 제품에서 가장 작은 칩, 크랙 (crack) 또는 스트레이 (stray) 입자조차도 감지하는 비 접촉 기반 시스템입니다. 이 단위는 제품 수율 (Product Yield) 과 품질 (Quality) 을 평가하기 위해 제품 표면에서 입자와 결함을 감지 할 수 있습니다. AUGUST NSX-105는 각도가 다른 여러 카메라를 사용하여 결함을 감지할 수 있습니다. 크기가 5um 이상인 반면, 13nm까지 다양한 스팟 해상도로 타의 추종을 불허합니다. 고품질 이미지로 정확한 결함 감지를 보장하기 위해 여러 가지 전용 알고리즘과 통합 패턴 인식 소프트웨어 (Integrated Pattern Recognition Software) 를 활용합니다. 또한, 이 시스템은 병렬 처리를 지원하는 완전 자동화 워크플로우 (fully automated workflow) 를 제공하여 검사 시간을 단축하고 빠른 배치 (batch) 작업을 가능하게 합니다. RUDOLPH NSX 105는 3D 및 2D 구조를 모두 사용할 수 있으므로 평면 및 비 평면 구조를 검사하려는 제조업체에 이상적인 옵션입니다. 또한 다양한 워크플로를 지원하는 여러 운영 모드 (예: 대규모 검사를 위한 영역 모드, 특정 영역을 검사하는 라인 모드, 작은 영역의 이미지를 빠르게 캡처하는 포인트 모드) 를 포함합니다. 이 도구의 하드웨어 구성 요소에는 안정성과 정확성을 위해 만들어진 테스트 단계 (test stage) 가 포함되어 있으며 다양한 샘플 크기를 수용할 수있는 다양한 진공 (vacuum) 및 클램프 (clamps) 를 제공합니다. 또한, 에셋에는 초고해상도 이미지를 함께 생성하는 뛰어난 광학으로 가장 높은 배율을 제공하는 페어링된 오브젝티브 렌즈 (objective lense) 가 포함됩니다. 이 모델의 소프트웨어는 사용 편이성을 위해 설계된 인텔리전트 에디션 (Intelligent Edition) 기능으로 결함을 감지하고 분류하는 데 소요되는 시간을 줄여줍니다. 등급 이미지 (Grade Image) 와 결함 보고서 (Defect Report) 를 모두 생성하여 결과를 시각화할 수 있으며, 데이터를 다양한 형식으로 내보낼 수 있습니다. 요약하자면, RUDOLPH/AUGUST NSX-105 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 업계에서 사용하도록 특별히 설계된 효율적이고 안정적인 시스템입니다. 여러 카메라, 독점 알고리즘, 빠르고 정확하며 고품질 결함 감지를 지원하는 완전 자동화 워크플로우 (Fully Automated Workflow) 가 특징입니다. 하드웨어는 안정성과 정확성을 위해 제작되었으며, 소프트웨어는 결함을 감지하고 분류하는 데 소요되는 시간을 단축하도록 설계되었습니다.