판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9289668

RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 품질을 모니터링하고 평가할 수 있는 완벽한 검사 솔루션으로 설계되었습니다. 정밀 검사 모듈을 활용하여 설계 이미지 데이터 (design image data) 와 광범위한 다중 결함 분석 필터 (multiple defect analysis filter) 를 캡처하여 이전 어느 때보다 신속하고 정확하게 결함을 파악하고 분류합니다. 또한 8 월 NSX-105 에는 포괄적인 분석 및 보고 기능을 제공하는 고급 결함 특성 툴이 포함되어 있습니다. RUDOLPH NSX 105는 독특한 광섬유 디자인을 사용하여 시간당 최대 10,000 개의 마스크 및 웨이퍼 이미지를 검사 할 수 있습니다. 이 검사 장치는 또한 3 메가 픽셀 해상도를 자랑하며, 설계 세부 사항을 최대 3 초까지 캡처 할 수 있습니다. 이를 통해 초고속 결함 감지 및 분류가 가능하며, 이는 효율적인 시각적 검사에 필수적입니다. RUDOLPH NSX-105에는 패턴 브레이크, 오염 물질, 입자 포함, 금속 축적, 가장자리 결함 등 일반적인 결함의 자동 감지 및 분류가 가능한 수많은 이미지 처리 필터가 있습니다. 패턴 브레이크 (pattern break) 필터는 원본 마스크 설계와 일치하지 않는 패턴이 인식되고 보고되도록 합니다. 또한, 금속 축적 필터는 예상 피치 너비와는 다른 금속 피쳐를 찾습니다. 이는 잘못된 양성을 제거하므로 운영자가 진정한 결함을 쉽게 식별 할 수 있습니다. 또한 8 월 NSX 105 는 고급 결함 특성 툴을 제공하여 운영자가 이전보다 더 정확하게 결함을 파악하고 분류할 수 있습니다. 이 도구는 광학 현미경 (optical microscope) 과 편광 현미경 시스템 (polarization microscope system) 을 사용하여 결함의 유형과 크기, 그리고 인식 된 기원을 결정합니다. 이는 운영자가 진정한 결함을 허위 긍정과 구별하고, 일반적인 오염과 심각한 결함을 분리하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, NSX 105 에는 이미지 캡처/분석 소프트웨어 모듈 (옵션) 이 포함되어 있어, 운영자가 이미지를 저장하고 나중에 분석할 수 있습니다. 이 기능을 통해 엔지니어는 외부 이미지를 검토하거나, 필요한 경우 원격으로 검토할 수 있습니다. 전반적으로 NSX 105 는 운영자에게 가장 포괄적이고 정확한 결함 분석 기능을 제공하도록 설계된 고급 마스크/웨이퍼 (wafer) 검사 머신입니다. 이 도구는 정밀 검사 모듈 (Precision Inspection Module) 과 고급 결함 특성 도구 (Advanced Defect Characterization Tools) 를 활용하여 종합적인 정보를 제공하여 품질 제품을 생산할 수 있습니다.