판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K - 페이지 #2
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Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: Metal Thermal Oxidation (MTO) 2002 vintage.
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Furnace, 12" Gases: SiH4, Si2H6, H2, ClF3, LTO520 (Liquid).
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Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: MTO Heater type: VMM-56-002 Gases: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
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Vertical diffusion furnace, 12" Process: TEOS 2005 vintage.
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Alpha 303i-K
Diffusion furnace, 12" Process: Poly GFC (SiH4, 0.1%PH3 / N2, CIF3) 2003 vintage.
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Alpha 303i-K
Furnace, 12" MFC (N2, NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4) L/L type Heater: VOS-56-003 2006 vintage.
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