판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 로에는 고유 한 듀얼 포켓 (dual pocket) 디자인이 장착되어 있어 확산 과정에서 소스 효율이 향상되고 균질성이 향상됩니다 (in-situ source gas circulation) 를 최적화합니다. 중간에 별도의 핫 존 (hot zone) 이있는 핫 월 로딩 챔버 (hot-wall loading chamber) 가 장착되어 있어 소스 입구 포트를 통해 단방향 내부 소스 가스 흐름이 가능합니다. 이는 효율적인 흐름 패턴을 형성하여 더 나은 프로세스 결과를 위해 균일성을 증가시킵니다. TEL ALPHA 303IK의 듀얼 포켓 디자인 (dual pocket design) 은 또한 소스 포켓과 나머지 챔버 사이의 열 기울기를 최소화하여 정적 압력 변동을 최소화하고 보다 안정적인 알루미나 및 알루미늄 도펀트 증착을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K도 사용하기 쉬운 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 컨트롤러는 최대 4단계의 프로그래밍 가능한 중성자 플럭스 변조를 가능하게 합니다. 결과적으로, 전체 웨이퍼에 대해 균일 한 소스 농도를 유지하면서 소스 활동의 변화에 신속하게 반응 할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 최대 ± 2 ° C 정확도로 최대 4-zone 온도 제어를 허용하며, 확산 과정에서 온도가 정확하게 유지되도록 합니다. 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 열 전 온도의 점진적인 회복을 위해 3 단계 열 처리 방법을 사용하여 에너지 효율성 (energy efficient) 으로 설계되었으며, 복구 기간을 0 분에서 40 분으로 조정할 수 있습니다. 또한 기본 제공되는 자동 복구 기능 (auto-recovery feature) 을 통해 다양한 운영 매개변수를 모니터링하고 용광로를 지정된 시작 조건으로 자동 복원할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK는 운영 중 가장 높은 안전 표준을 보장하기 위해 다양한 안전 기능과 연결되어 있습니다. 스위치를 감지하는 챔버 누출, 열전대 파손 감시, 방사선 보호 장치, 연동 안전 시스템, 긴급 차단 시스템 등이 장착되어 있으며, 이 모든 것이 안정적인 작동을 보장합니다. 또한, 입자 (inlet) 필터를 설치하여 입자 및 기타 오염 물질이 챔버에 들어가지 못하게 하고 확산 과정을 방해합니다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK (TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK) 은 매우 안정적이고 에너지 효율적인 확산 로와 액세서리로, 최적의 효율로 안정적인 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 내부 소스 가스 순환, 플럭스 변조, 에너지 효율적인 열 처리, 종합 안전 기능이있는 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 모두 마이크로 일렉트로닉스 확산에 적합합니다.