판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9402693

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 텅스텐 및 스퍼터링 산화물 필름 성장 응용을 위해 특별히 설계된 확산 로입니다. 박막 성장 (Thin Film Growth) 및 증착 프로세스에 이상적인 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 이 확산 로에는 광로와 이웃 전극 사이의 연결 점을 정확하게 조정 할 수있는 극성 역전 "T" 전극이 장착되어 있습니다. 전극 및 각 전원 공급 장치의 잘못 정렬로 인해 잠재적 인 문제가 없어집니다. TEL ALPHA 303IK 확산 로에는 전체 챔버 전체에서 정확한 온도 관리를 보장하는 3 구역, 자동 열 제어 장비가 있습니다. 이 "시스템 '은 약실 의 3" 포인트' 로부터 온도 를 정확 히 제어 할 수 있으며 내부 의 20 "포인트 '까지 온도 를 모니터링 할 수 있다. 이는 정확한 박막 성장 및 증착 과정에 반드시 필요한 정확한 온도 관리를 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 정확한 온도 제어를 위해 디지털 PID 제어 기술을 사용하여 정확성과 일관성을 더욱 보장합니다. 또한 용광로에는 UPS (무정전 전원 공급 장치) 가 장착되어 있어 전원 장애 후에도 증착 (deposition) 과정을 계속할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK에는 온도 고장 또는 기계 고장의 경우 사용자에게 경고하는 가청 경보 장치도 있습니다. 또한, 용광로에는 온도, 압력 및 RF 전력 사용량을 기록하는 데이터 로깅 도구 (data logging tool) 가 있으므로 데이터를 쉽게 분석하고 기록하여 추가 연구를 수행할 수 있습니다. 또한 알파 303IK (ALPHA 303IK) 에는 여러 가지 유용한 액세서리와 기능이 장착되어 있어 사용자가 성능을 극대화할 수 있습니다. 여기에는 몰리브덴 보트 및 동력 리프팅 장치, 쿼츠 암미터 게이지, 공압 밸브, 수동 및 전기 셔터가 포함됩니다. 이러한 유용한 액세서리는 모두 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K를 연구 또는 산업 응용 분야에 적합한 선택으로 만듭니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 안정적이고 효율적인 확산 로로, 박막 증착 및 정밀한 온도 관리가 필요한 다른 프로세스에 적합합니다. 최첨단 기술과 첨단 기능은 높은 정확성과 일관성, 안전하고 안전한 작업 (secure operation) 을 보장합니다. 이것은 TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK를 박막 성장 및 증착에 이상적인 선택으로 만듭니다.