판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9273544

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9273544
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Diffusion furnace, 12" GAS (N2, O2, TEOS) L/L Type Heater: VMM-56-002 No HDD 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 반도체 처리를 위해 설계된 확산 용광로 장비입니다. 이 제품은 60cm (사각형) 의 수평로와 액세서리 (액세서리) 를 갖춘 종합적이고 자동화된 시스템으로, 제조 및 통합의 유연성을 극대화할 수 있습니다. TEL ALPHA 303IK 장치의 중심에는 고속, 균일 한 가열을 달성하기 위해 효율적인 가열 요소와 간단한 설계를 결합한 확산 로가 있습니다. 크기가 클수록 더 효율적이고 강력한 가열 (heating) 요소를 사용할 수 있으므로 더 높은 온도와 더 정확하고 안정적인 온도 조절이 가능합니다. 용광로 (furnace) 에는 에너지 효율을 높이고 열 손실을 제거하면서 처리 중 적절한 온도를 유지하는 이중 벽 절연 (dual-wall insulation) 디자인이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 기계는 최대 1,100 ° C의 최대 프로그래밍 가능한 온도로 최대 900 ° C의 공정 온도에 도달 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 ± 2 ° C의 정확한 온도 균일성을 제공하며, 이는 산업 표준 내에 있습니다. 수직 엘리베이터 디자인은 대규모 처리를 용이하게합니다. 로드 잠금, 냉각 포하르트, 쿼츠 모니터, 멀티 존 온도 제어 자산과 같은 추가 액세서리를 통해 TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K 모델은 많은 제조 및 통합 응용 프로그램의 이상적인 후보가되었습니다. 이 액세서리 제품군은 프로세스를 가속화하고 결과를 개선하는 데 도움이 될 수 있습니다. TEL ALPHA 303 I K 장비는 장기 사용 및 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 우수한 단열재 (superior insulation) 는 시간이 지남에 따라 온도가 균일하게 유지되며, 절전 모드는 시스템에서 발생하는 열을 점검합니다. 확장 된 히터 화학 수명은 또한 화학 물질 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 유지 보수 측면에서 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 장치는 간단하고 쉬운 검사 루틴을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 다운타임을 최소화하면서 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK 기계는 고온 처리 및 통합 응용 분야에 사용될 수있는 안정적이고, 효율적이며, 유연한 확산 로와 액세서리 도구입니다. 뛰어난 난방 기능, 온도 조절, 액세서리 제품군을 통해 프로세스 시간을 줄이고 결과를 향상시킬 수 있습니다.
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