판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293607142

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 확산 로와 액세서리 장비로, 반도체 웨이퍼, 포토 마스크 생산, 증착 및 에칭, 빠른 열 프로세스와 같은 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. TEL ALPHA 303IK는 에너지 효율적인 플랫폼에서 고성능 및 안정적인 작동을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K의 확산 로는 3 개의 전극, 2 개의 음극 및 1 개의 양극으로 지원됩니다. 양극은 퍼니스에 높은 필드 강도를 제공하는 부정적인 바이어스 소스입니다. 2 개의 음극은 최대 3KW (Power Level) 를 생성 할 수 있으며, 최소 전력을 소비하면서 이러한 고온에 도달 할 수 있습니다. 확산 용광로는 고온 도가니로 구성됩니다. 온도 조절 장치; 용광로 내부의 온도를 읽는 온도계; 고온에서 비활성 가스를 도입 할 냉각탑과 공간; 열 mandrel; 전원 공급 장치를 제어합니다. 고온 도가니 에는 석영 "튜브 '가 늘어져 있어서, 확산 과정 중 에 전류 가 고르게 분포 되도록 한다. 온도계에는 온도 프로브 (temperometer) 가 장착되어 있어 용광로의 내부 온도를 실시간으로 정확하게 감지 할 수 있습니다. 냉각탑 과 공간 을 이용 하면, 확산 과정 후 에 질소 와 "아르곤 '과 같은 비활성" 가스' 로 용광로 를 냉각 할 수 있다. 이것 은 여러 가지 조건 하 에서 믿을 만한 수술 을 유지 하도록 설계 되어 있으며, 확산 과정 이 완료 된 후 에 생길 수 있는 산화 "산화 '를 최소화 한다. 버블러, 산소 센서, 펌프, 가습기 및 정전 방지 케이지와 같은 액세서리도 Alpha 303i-K와 호환됩니다. 확산 과정 후 물 기반 냉각제, 산화제 (anti-oxidation agent) 를 빠르고 신뢰할 수있는 특수 콘센트가 제공됩니다. 또한, TEL Alpha 303i-K에는 경고 경보 및 긴급 차단 기능이 장착되어 항상 안전한 작동을 보장합니다. 전반적으로, TEL ALPHA 303 I K는 최소한의 전력을 소비하면서 안정적이고 고성능 작동을 제공하는 고급 확산 용광로 장치입니다. 이 "머신 '은 여러 가지" 응용프로그램' 을 위한 훌륭 한 선택 이다.