판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9402696

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9402696
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Furnace, 12" Process: DCS-MTO 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 확산 공정에서 탁월한 성능을 제공하는 고급 확산 로입니다. 이 제품은 완전 자동화된 장비로, 고성능, 고효율 난방 시스템, 고급 온도 조절, 사용이 간편한 운영자 인터페이스 등 고급 기능을 갖추고 있습니다. TEL ALPHA 303IK의 고급 가열 장치는 고급 이트리아 안정화 지르코니아 (YSZ) 가열 요소에 의해 활성화되어, 물질을 2000 ° C의 온도까지 가열 할 수 있습니다. YSZ 가열 요소는 원하는 온도를 달성하기 위해 적은 에너지가 필요하기 때문에 기계를 매우 에너지 효율 (energy-efficient) 으로 만듭니다. 또한, YSZ 가열 요소는 도구가 마모와 찢어지지 않도록 매우 저항하여 최대 수명을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K의 고급 온도 조절 기능은 확산 프로세스 전반에 걸쳐 안정적이고 정확한 온도 조절을 제공합니다. 에셋은 또한 작업 공간 내에서 압력 수준을 지능적으로 모니터링하고 조정하여 확산 결과 (diffusion result) 를 최적화할 수있는 챔버 압력 제어 (chamber pressure control) 모델을 갖추고 있습니다. 또한, 장비에는 프로세스 매개변수를 최적화하고 우수한 품질 재료를 생산하기 위해 챔버의 압력 프로파일을 조정하는 동적 압력 버전 (DPV) 이 제공됩니다. 이 시스템은 또한 사용하기 쉬운 연산자 인터페이스 (operator interface) 를 통해 모든 기능과 설정을 간단하게 제어할 수 있습니다. 이 로 인하여 "오퍼레이터 '들 이 확산 로 의 거의 모든 부면 을 설정 하고 조정 하는 것 이 놀라우리만큼 쉬우므로, 최상 의 결과 로" 오퍼레이션' 을 얻으려면 그 공정 을 신속 히 최적화 할 수 있다. 또한, 포함된 사용자 설명서 (User Manual) 는 작동에 대한 명확하고 간단한 지침을 제공하므로, 최신 사용자라도 이 장치를 사용하는 방법을 쉽게 배울 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 확산 응용 프로그램에서 고급 성능과 정밀도를 제공하는 뛰어난 확산 로입니다. 고급 난방기, 우수한 압력 제어 (Pressure Control) 및 사용이 간편한 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 는 품질 확산 결과를 달성하기에 이상적인 선택입니다.
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