판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9395017

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 TEL의 고급 기술로 만들어진 확산 로와 액세서리입니다. 303i-K (303i-K) 는 강력한 기능으로 인해 탁월한 프로세싱과 다양한 용도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 용광로에는 챔버 내부를 정확하게 제어하는 혁신적인 기술 인 카파 테크놀로지 (Kappa Technology) 가 장착되어 있습니다. 이 기술은 가압 환경과 동시에 작동하여 303i-K (신뢰성 있는 작동 및 최고 품질의 처리) 를 제공합니다. 303i-K는 또한 이중 도어 차동 압력 시스템 (Dual-door differential pressure system) 과 같은 독특한 기능을 갖추고 있으며, 분리 중 오염을 최소화하고 높은 수준의 청결을 유지합니다. 이 용광로 는 또한, 정확 하고 능률적 인 작동 을 보장 하기 위하여 "챔버 '전체 에 고른 열 분산 을 제공 하도록 설계 되었다. 또한, 303i-K 는 강력한 열 절연 시스템 (thermal insulation system) 을 사용하여 고객의 요구 사항에 따라 모든 소진 주기를 최적화 할 수 있습니다. 이렇게 하면 에너지 소비량 감소, 처리 효율성 향상, 비용 절감 등 빠르고 균일한 난방이 가능합니다. 303i-K는 또한 광범위한 제어 및 안전 기능을 제공합니다. 이 옵션을 사용하면 잠금 시스템 (lock-out system) 을 통한 영역 액세스를 방지하면서 제어판에서 챔버를 모니터링할 수 있습니다. 통합 키 제어 시스템은 안전한 챔버 환경을 보장합니다. 303i-K는 확산 프로세스에서 뛰어난 성능을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 용광로의 최대 온도는 1650 ° C이며, 균일 한 열 분산을 유지하면서 최대 진공 6.7x10-7을 달성 할 수 있습니다. 304i-K는 또한 ± 2 ° C 내에서 정상 상태 온도 및 ± 4 ° C의 균일 한 온도에 도달 할 수 있습니다. TEL ALPHA 303IK (TEL ALPHA 303IK) 은 뛰어난 성능과 안정성을 극대화하기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 정밀하게 제어 된 대기, 고효율 작동, 강력한 열 단열화 (thermal insulation) 및 광범위한 제어 기능 (control features) 을 통해 모든 유형의 확산 프로세스에 대한 탁월한 수준의 성능을 제공합니다.