판매용 중고 NIKON NSR S202 #293815006

ID: 293815006
Scanning stepper Process: Deep Ultraviolet (DUV) scanning Missing parts: Fine Alignment (FIA) unit Reticle blind unit Interferometer laser power Fly’s eye lens Relay lens.
NIKON NSR S202는 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 리소그래피 프로세스에 사용되는 많은 고정밀 기계 중 하나입니다. 이 기계는 photolithography 프로세스를 실현하기 위해 고밀도 대형 웨이퍼를 노출 (도핑) 하도록 설계되었습니다. 최대 200 밀리미터 직경의 웨이퍼를 처리 할 수있는 대형 프레임 스캐닝 (scanning) 구조로, 사용 가능한 크기가 가장 큽니다. NSR S202 는 최적화된 셔터 제어 장비로, 노출 시간을 줄이고 정렬 정확도를 향상시킵니다. 또한 각도 입사율 조명 (Angled-Incidence Illumination) 기술을 사용하여 웨이퍼 가장자리에서도 고정밀 이미징을 허용하는 고성능 이미지 형성 시스템을 갖추고 있습니다. 고품질 이미지 형성과 셔터 제어 장치 (shutter control unit) 의 조합은 광범위한 "처리하기 어려운" 기판에 세밀한 패턴을 만드는 데 도움이됩니다. NIKON NSR S202는 다양한 표면에서 매우 고해상도, 회색조 이미지를 제작할 수 있습니다. 뛰어난 이미지 확대 및 스캐닝 정확도 (Scanning Accuracy) 를 통해 무늬가 높은 웨이퍼를 손쉽게 처리할 수 있습니다. NSR S202 는 기술 사양 외에도 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 또한 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 가 장착되어 있으며 분산 석판화 머신을 만들기 위해 포트리스 (Portless) LAN 네트워크 옵션을 추가할 수 있습니다. 견고한 빌드형 (Build) 및 안정적인 성능 덕분에 모든 어플리케이션에서 높은 생산성과 뛰어난 생산성을 보장합니다. Nikkon NIKON NSR S202 웨이퍼 스테퍼는 반도체 생산 기술에 적합한 기계로, 일관되게 고품질 이미지와 안정적인 처리량을 제공합니다.
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